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製品
RTP Tube Furnace

ターボ分子真空ステーションと完全な付属品を備えたコンパクトな4インチRTPチューブ炉システム(最大1e-4 torr&1100c)

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-HV-LD
  • :

    Xiamen
  • お支払い:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
製品の詳細

ターボ分子真空ステーションと完全な付属品を備えたコンパクトな4インチRTPチューブ炉システム(最大1e-4 torr& 1100c)


tmax-1200x-rtp-4-hv ul認定コンパクト 高真空の急速熱処理管(4 "i.d.)炉 ステーション(ダイアフラムポンプ+ターボ分子ポンプ)およびkf-d25真空フランジ アセンブリ。半導体ウェーハまたはソーラーのアニール用に設計されています 直径3 "までのセル。 炉は 処理管の周りの8ユニットの1kwハロゲンライトで加熱 最大最大加熱速度50c /秒。 50セグメントの精密温度 コントローラーは+/- 1の精度で組み込まれています ° c。


かまど

構造

コンパクト   4インチRTPチューブ炉 二層鋼ケース   ムライトライナー)

暖房   素子

8   個ハロゲンライトチューブ(d = 10 l = 300 t = 200、mm)

ワーキング   臨時

1100°c   最大( このrtp炉の最大保持時間   1000ºc〜1100ºcで600秒未満、そうでない場合はOリングが   溶ける

最大   加熱速度

50°c /秒

最大   冷却速度

64°c /分   (真空下:200 mtorr)、117°c / min(大気圧下)

暖房   ゾーン

12 "   +/- 1°cの均一性内の4 "一定温度ゾーンを持つ長さ

プログラム   臨時コントローラ

  • PID自動制御        経由で scr        (シリコン制御整流器) パワーコントロール        位相角の発射、電流制限抵抗を使用。
  • 30個のプログラム可能なセグメント        加熱速度、冷却速度、および滞留時間の正確な制御。
  • ここをクリックして理由を確認してください scr        ssc(ソリッドステートリレー)よりも正確です。
  • 組み込みのpid自動調整機能        過熱&壊れた熱電対壊れた保護。
  • 以上        温度保護とアラームにより操作が可能        アテンダントなし。
  • +/- 1ºcの温度精度。
  • rs485通信ポート。
  • パソコン        コントロール:
    • a mts-02 制御モジュール は         この炉のPC制御に含まれています。
    • その         PCモジュールの新しいバージョンは、ラボビューと互換性があります05/08/2014
    • a         ラップトップPCは、炉と一緒に900ドルで注文できます。私達         ソフトウェアを避けるためにコンピューター(ラップトップ)を注文することをお勧めします         インストールの問題として 私達         出荷前にインストールとテストを実行します

石英   チューブ&サンプルホルダー

  • 石英管サイズ:4.33 "o.d x        4.05 "i.d x 16.2 "        長さ
  • 3 "        直径のサンプルホルダーはから成っている滑走のフランジに挿入されます        石英
  • 1        直径3インチのalnウェーハをホルダーの中央に配置して、        直径3インチまでのアニーリングサンプル。
  • アルン        非常に高い熱伝導率を持ち、最高の温度を提供します        サンプル領域の均一性
  • その        サンプルホルダーはフランジから取り外し可能

真空   フランジ

kf-d25   高真空フランジはダブルハイテンプのステンレススチール製です。シリコーン   Oリング、ニードルバルブ。
スライドフランジは、サンプルを簡単に装填できる方法です。 3 "クォーツサンプル   正確な測定のためのholder.insert-able熱電対。

水   冷却ジャケット

  • 冷却水が必要です。
  • の流量を確認してください        冷却水は≥10l / min、水温です。 < 25ºc;圧力> 25        psi
  • eq-kj5000シリーズの使用をお勧めします 再循環水チラー として        冷却システム(関連製品で別途注文してください        下)水を節約します。

警告:このrtp   炉の最大滞留時間は、1000ºc〜1100ºcで600秒未満   水道水を使用すると、Oリングが溶けることがあります。再循環水を使用して   チラー、この保持時間は1200秒まで延長できます。

フロー   メーター

1   流量計は前面パネルに取り付けられており、ガスの流れを0〜160に調整します。   ml /分

パワー   入力

208-240   AC、50/60 Hz単相、最大9 kw (> 60aのブレーカーが必要です)

hv   駅
高真空ステーション

構造

  • モバイル        カートサイズ:600(l)x 600(w)x 700(w)、mm
  • 最大        積載量:上部に600ポンド
  • 分子の        ポンプコントロールパネル:液晶デジタル
  • ダイアフラムポンプ そして ターボ分子ポンプ は        スチールケース内に設置。

真空   程度

6.3e-5   mbar(40分で4インチのrtpチューブ炉を使用)

コントロール   パネル

  • ワンボタン操作 -ダイアフラムポンプ        ターボ分子ポンプは「開始」を押すと起動します        ボタン。
  • システム制御の回転速度 -コントローラーは        に従ってタービンの回転速度を制御します        反応チャンバーの真空レベルと漏れ速度。
  • 自己防衛 -システムは        過熱による損傷からポンプを保護し、        反応室の漏れ速度が高すぎて高真空を達成できません。

  • 液晶画面 -二重線        パラメータチェックインターフェース 作る        作業が簡単に処理されます。

自己テスト 紡ぐ

起動   時間

2   数分

バッキング   10 mbarでのポンプ体積流量

3.8   50hzのl / minおよび60hzの4.4 l / min

パワー   入力

110v   ACまたは220V AC切り替え可能、50 / 60hz

パワー   消費

期間/最大   出力:100/110ワット

運送   情報

重量   と寸法

rtp   炉:110ポンド、760 x 330 x 530mm(30 "x 13" x 21 "   インチ)l x w x h
HVステーション:40 lbs、600 x 600 x 700mm(24 "x 24" x 28 ")   l x w x h

保証

生涯サポート付きの2年間の限定保証 (加工などの消耗部品   チューブ、Oリングは保証の対象外です。   以下の関連製品。)

ラップトップ、   ソフトウェア& wifiコントロール(オプション)

  • ブランドの新しいノートパソコン        Microsoft Windows 10およびMicrosoft Office 2013(30日間の無料試用)        すぐに使用。
  • labviewベースの温度制御        システム ユーザーが編集できるようにします        温度プロファイル、熱処理レシピの管理、データの記録とプロット        mti炉用。
  • ワイヤレスリモコンが提供します        300メートルの動作範囲に。

  • 上記の機能は        追加料金(最大1,000ドル)でリクエストしてください。詳細についてはお問い合わせください        情報。

コンプライアンス

  • ce        認証済み
  • その        炉はul 61010、iec 61010、nrtlsによってテストされたspe-1000に合格する準備ができています        追加料金で。見積もりと詳細情報についてはお問い合わせください。
  • 温度        コントローラが満たされ、CE認定
  • 高い        真空ステーションはtuv認定済み

sliding furnace


1。 私達は機械を供給します バッテリー技術サポート付き。

2。 私たちは供給します フルセット リチウム電池機器 ラボ研究、パイロットスケール研究、生産林向け e。


 Vacuum Tube Furnace


1つの標準輸出パッケージ:内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

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