1200 º c の最大します。2 ゾーン PECVD チューブ炉 (省略可能な管径) 自動スライド

TMAX-DSP-1200PECVD は、 デュアル ゾーンきかつ PE-CVD チューブ炉 システムを構成 RF プラズマ源、チューブのサイズと統合された摺動自在レール、精密質量流量計のガス混合槽・高品質オイルレス真空ポンプとは。 そのような PE CVD 炉はナノワイヤまたは次の利点を持つグラフェン成長する新しいツール:
1 です。 従来の cvd 法と比較して低温処理。

2。 高い冷暖房率スライド式炉を使用しています。

3. 1200 º c の最大します。動作温度。

4。 材料の堆積、カーボン ・ ZnO ナノワイヤ (または管) などの広い範囲を提供し、単層の書記素。

仕様:

モデル	DSP 1200 ℃ - PECVD-私	DSP 1200 ℃ プラズマ II	DSP 1200 ℃ プラズマ III	DSP-1200 ℃ プラズマ IV
電源	3 KW	3 KW	4 KW	4 KW
チューブ サイズ	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm	Dia 100(OD) X1800mm	Dia120 (OD) X1800mm
製品寸法 (mm)	1800 x 410 x 610	1800 x 410 x 610	1800 x 460 x 660	1800 x 460 x 660
	の特徴 1。 2 つのプログラマブル高精度温度 30 セグメントのコント ローラー。 2。 2 つ別々 に制御可能な暖房 ゾーン: 200 ミリメートルの長さごとに 加熱ゾーン 暖房で合計 400 mm 長さ 250 mm 定数中央 両方のゾーンが同時に加熱した場合、領域を加熱温度 温度
炉構造	1. スライド レール の分割チューブ炉 2。 連続的な暖房の Max 1150ºC 3。 マルチ プログラミング可能な精度のデジタル 温度コント ローラー 30 セグメント。 4。 入力電力: 208-240 v AC 入力、シングル 最大で相。4 kw
プラズマ高周波電力供給	1. 出力電力: 5 - 500 w 安定性 ± 1% で調整可能です。 2。 RF 周波数: 13.56 MHz 0.005% の安定性。 3。 反射波電力: 10 w 最大。 4。 マッチング: 自動 5。 RF 出力 ポート: 50 Ω、N 型、女性 6。 ノイズ: < 30 dB。 7。 冷却: 空冷。 8。 電源: 208-240 vac、単相、50/60 Hz
防錆用圧力 ゲージ	1. 3.8x10 -5 1125 Torr まで 測定範囲 2。 防錆ガス型独立 3。 高精度と再現性で 信頼できる気圧検出 のための大気 4。 高速大気検出を排除 待機時間と短縮プロセス サイクル 5。 簡単交換プラグ & プレイ センサーへ 要素
真空ポンプ ステーションと バルブ	1. ファイファーの高速 (120 L/分) オイルレス ドライ真空ポンプ、10E 3 Torr 制限が重い義務内インストールされています。 モバイル ショッピングカート 2。 KF25 アダプターとステンレス鋼管 お客様のプラグ用ボール弁とポンプとチューブのフランジの間に接続 を再生 3。 10E 2 torr まで真空を達成することができます。 内部加工チューブ
質量流量・ ガス混合駅	にインストールされている、 頑丈なモバイル カート上部にチューブ炉を配置できます。 ガスの流れの簡単な制御を提供する LCD タッチ スクリーンを統合します。 独立した各チャンネルの数です。 1. 働く温度: 5 ~ 45 ° C 2。 最大します。圧力: 3 x 10 6 Pa 3。 精度: ± 1.5% FS 4。 ライナー: ±(0.5-1.5) %f. s. 5。 複製精度: ±0.2%F.S. 6。 制御 範囲: 5,10,20,30,50,100,200,300、500SCCM、1,2,3,5、10SLM。
加熱・冷却	RS485 ポートの料金と ソフトウェアがインストールされ、リモート制御の温度を許可します。 PC でのプロファイル。 達成するために Max.heating レート、ユーザーは希望に炉予熱する必要があります。 温度、炉のスライド チューブ のサンプル ゾーンを 達成するために Max。寒さに熱い地帯から加熱炉を移動冷却速度、 暖房率をゾーン: 15 ° C/秒 (RT - 150 ° C); 10 ° C/秒 (150 ° C-250 ° C); 7 ° C/秒 (250 ° C -350 ° C); 4 ° C/秒 (350 ° C -500 ° C); 3 ° C/秒 (350 ° C -550 ° C); 2 ° C/秒 (550 ° C -650 ° C); 1 ° C/秒 (650 ° C -800 ° C); 0.5 ° C/秒 (800-1000 ° C); 冷却速度: 15 ° C/秒 (1000-950 ° C); 10 ° C/秒 (950 ° C ~ 900 ° C); 7 ° C/秒 (900 ° C-850 ° C); 4 ° C/秒 (850 ° C ~ 750 ° C); 2 ° C/秒 (750 ° C ~ 600 ° C); 1.5 ° C/秒 (600 ° C から 500 ° C); 1 ° C/秒 (500 ° C ~ 400 ° C); 0.5 ° C/秒 (400-300 ° C);
保証	1 年間の限定保証の有効期間 サポートします。
アプリケーション ノート	チューブ炉石英管とは 真空と低圧 < 0.12 MPa (絶対下を使用するために設計されています 圧力)。 注意: A 2 段階圧力調整器は、ボンベを制限にインストールしなければなりません 安全な操作の 3 つの PSI 以下に圧力。 流量 ガスを減らすため < 200 SCCM (または 200 ml/分) に限定する必要があります。 管に熱衝撃。 真空制限 すべて石英チューブ炉の定義: * 真空圧した場合のみ 1000 ° C まで、安全に使用営業の チューブ サイズ 4"よりも大きい PECVD システムしてくださいいつも以上 プラズマ発生器の起動後のプラズマ源から 1 メートルの距離 作業。

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