2 in 1 フィルムコーター: プラズマスパッタとカーボン蒸着コーティング機

GSL-1100X-SPC-16C-LD は、2 in 1 のコンパクトなコーティング ユニットです。 プラズマスパッタリングと蒸発を1台の小型マシンに統合したダブルステップロータリーベーン真空ポンプ。これは、材料分析における微細構造および微細領域組成分析用の SEM および EDAX サンプルを低コストで準備するために特別に設計されています。カーボンをはじめ、様々な素材をコーティング。

仕様

入力電圧	208 ～ 240 VAC、単相、50/60 Hz 110V バージョンは 1500W 変圧器で利用できます。
力	< 2000W（ポンプ含む）
出力電力	プラズマスパッタリング： 1600VDCおよび 最大50mA 蒸発： 10VAC および最大。電流20A（タングステンワイヤーバスケット用）。
作業室	溶融ガラス管、直径160mm。 ×高さ110mm
コーティングヘッド	2 つのコーティングヘッドが含まれています。 DC スパッタリングヘッド (2" ターゲット) ( 写真 1 ) タングステンワイヤーバスケットによる熱蒸発 ( 写真 2)
サンプルステージ	50mm径1本サンプルステージ、 最大。塗布面積：45mm径 Al、Li、Mgなどの軽量金属材料をコーティングするための蒸発治具が含まれています
付属品	ダブルステップロータリーベーン真空ポンプ (外部) ピラニゲージと 10-2torrまで真空に達することができるオイルミストが含まれているベーパートラップを排除します 自動エア抜き用の電磁弁が1個付属しています。 より良い炭素蒸発のために、 10-5 torr までの真空に達することができる追加料金で、右の写真のような分子ポンプを使用することをお勧めします。
ガス雰囲気	より良いプラズマ コーティングを実現するために、Ar ガスの導入を可能にする 1 つのニードル バルブが取り付けられています。
ターゲット &蒸発源	1 Auターゲット：直径50mm X0.12mm、1本 含まれています。 カーボン蒸発用の 3 フィートのカーボンファイバー (糸) が 1 つ含まれています (カーボンコーティングにカーボンロッドは使用できません)。
全体寸法	L360mm×W300mm×H380mm
正味重量	50キロ
コンプライアンス	CE承認 NRTL または CSA 認定は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。見積もりについては、営業担当者にお問い合わせください。
保証	生涯サポート付きの1年間限定
スパッタコーティングの知識	TMAX Corp. は、最先端のスパッタ コーティング技術をお客様と共有しています。 システムには、含まれていない圧力調整器付きの Ar ガスタンクが必要です