4つの加熱源（10-6 torr）を備えた超音波高真空熱蒸発コーターマシン

仕様

入力と入力出力電力	· 入力: 208 - 240VAC、20 A、50/60 Hz、単相 · 必要な総電力: 8KW (ポンプを含む) · その他の 3 相電圧はご要望に応じてご利用いただけます · 出力: 5VAC max.最大300A
真空室	· ステンレス製チャンバー:​​ 280mm ID. x 375 mm 高さ ( ~23 リットル) サンドブラスト電解研磨面 · チャンバー前部に100mmの観察窓 · サンプルの装填が容易なヒンジ式ドア · 蒸発Wボートの上部には手動シャッターがあり、4種類の材料を1つずつ蒸発させることができます。 · 必要なデバイスに接続するためのチャンバーに組み込まれた 4 つの KF40 ポート
真空ポンプ	· 高速ターボ真空ポンプを内蔵し、真空チャンバーに接続。 (左上の画像をクリックしてください) o 真空速度: 600L/S o 真空レベル: 5.0x10 -6 Torr (40 分ポンピング後) o 限界真空: 5.0x10 -7 Torr（100～150℃焼成後） o 漏れ率: 5.0x10 -7 パ。 o 真空ポート：直径150mm
蒸発源 &アンプ; サンプルホルダー	· 水冷電極でサポートされている 4 つのタングステン加熱ボートが含まれています · タングステン加熱ボートの寸法は、長さ70mm x 幅12mm x 高さ3mmです。 。 予備の W ボートは追加料金で利用できます 。 · ボートの各トップには手動シャッターがあります · 手動シャッター内蔵で蒸発源をコンタミなく使用可能 · 直径 100 mm の回転式サンプル ホルダーは、最大 600 °C まで加熱できる直径 260 mm のチャンバーの上部にあります。 +/1 °C 精度のデジタル温度コントローラ経由 · 蒸発源とサンプル ホルダー間の距離は 150 ～ 300 mm で調整可能
厚み制御 （ オプション ）	· 1台の高解像度膜厚モニターとコントローラーはオプションです （ 下の画像をクリックして詳細仕様をご覧ください） · 厚み制御精度は1.0A
コントロールユニット	· 真空、厚さ、電力の制御が 1 つのコントロール ボックスに統合されています。 · コントロールユニットを真空チャンバーから分離し、移動が容易 · コントロールユニットはバキュームステーションの上部に配置できます
全体寸法	L600mm× W860mm× H1500mm
正味重量	600kg
設置のための設備要件	· スペース: 250 SF 高さ > 6フィート · 電源: 208 - 240V AC、最大 10KW の単相 (50A ブレーカー) · 水: >電極の冷却には毎分15Lの流水が必要です。下の写真をクリックすると、水を節約するための再循環水チラーを追加料金で注文できます。
アプリケーションノート	· でコーティングされた薄膜/電極の柔軟性をテストします EQ-MBT-12-LDã マンドレル曲げ試験機 . ·
保証と保証証明書	ライフタイム サポート付きの 2 年間限定保証 CE認定