入力電圧

• AC220V 50/60Hz
• 110 V 電源は、 1000Wトランス（15Aヒューズ） ）。トランスは別売りです。

出力電力

• DC1600V
• 250W
• 最大150mA
• 内蔵過電流保護 (>150 mA)

試料室

• 石英ガラス管、外径165mm。 X 150mm ID x 250mm 高さ

スパッタリングヘッド＆
標本ステージ

• 水冷ジャケット付きの2インチフレキシブルマグネトロンスパッタリングヘッドが含まれています（図1）
• 直径 50 mm の 1 つのステンレス鋼製サンプル ステージは、0 ～ 5 RPM で回転可能
• ターゲット保護用の手動シャッター 1 つ。 (図2)
• スパッタヘッドホルダーは、非動作時にスパッタヘッドを保持することができます。
• スパッタリング ヘッドとサンプル ステージ間の距離は、60 ～ 100 mm の間で調整可能です。
• 最大コーティング面積: 最大直径 4 インチ。
• 1 空冷循環水チラー 10 L/min フロー スパッタヘッド冷却用に付属。 (図6)
• 

コントロールパネル

• 簡単な操作のための PLC 統合を備えた 6 インチ カラー タッチ スクリーン コントロール パネル
• すべてのパラメータの監視と制御のための 1 つのパネル: 真空、電流。

到達真空圧

• KF25真空ポート内蔵
• システムには、圧力調整器付きの Ar ガス タンクが必要です。 （含まれていない）
• < 1.0E-2 Torr by ベーン真空ポンプ (含まれていません) Au、Ag、Pt、Cu、Mo ターゲット用 (空気の影響を受けません)
• < 1.0E-5 Torr by ターボ分子ポンプ (含まれていません) Al、Mg、Li、Lr、Ti、Zn ターゲット用 (空気に敏感)
• 最低の真空度は < に達することがあります。 4.0E-6 Torr 一晩ポンピングしてベーキング

ガス雰囲気

• より良いプラズマ コーティングを実現するために、Ar ガスの導入を可能にする 1 つのニードル バルブが取り付けられています。
• システムには、圧力調整器付きの Ar ガスタンクが必要です (含まれていません)。

目標

· テスト用に 2 インチの銅製ターゲットが 1 つ含まれています。ターゲット サイズ: 直径 2 インチ x 2.5 mm。

• コーティングも可能 Ag、Al、Cr、Ni、Pt、Ti、Sn、Li、Mg など、ほぼすべての種類の金属材料。
• 警告 ： アルミニウム、クロムまたはニッケルターゲット 本機で塗装可能ですが、推奨塗装方法をご確認の上ご使用ください。
• アルミナのコーティングには RF プラズマ マグネトロン スパッタリングを使用してください。

オプションの膜厚モニター

• 膜厚モニターは追加料金でオプションです
• リクエストに応じて、500°C までの加熱可能なサンプルステージを追加料金で利用できます
• 正確な制御ガス入口用の流量計は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。

全体寸法

• L440mm×W330mm×H290mm

正味重量

• 20キロ

配送重量と重量寸法

• 160ポンド
• 45インチ×45インチ×40インチ。

コンプライアンス

• CE承認
• NRTL 認証は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。見積もりについては、当社の営業担当者にお問い合わせください。

保証

• 生涯サポート付きの1年間限定

アプリケーションノート

• 警告: スパッタリング ヘッドは高電圧に接続されています。オペレーターは操作中に手袋を着用する必要があります
• コーティングする前に、ターゲット、スパッタリング ヘッド、基板、および加熱ステージがきれいであることを確認してください。使用するたびに、サンドペーパーとアルコールを使用して、Al またはニッケル ターゲットをきれいにし、新しくする必要があります。