炉構造

シングル加熱ゾーン

• 高純度のAl2O3断熱材        チャンバーは優れた温度均一性を保証します。
• 冷却ファンは        効率的な換気を確保するために炉の底。
• スライディングフランジアセンブリが作られています        ステンレス鋼の。
• デュアルクオーツチューブ：100mm        直径外径チューブ、直径80 mmで吊り下げられています。インテリア        チューブ。 金属箔 （グラフェン        成長基質）は、チューブ表面の内側に巻き付けられます        cvd反応
• 加熱ゾーンの長さ：440mm
  恒温加熱ゾーンの長さ：120（±1°c）@ 400〜1100°c

• 高純度のAl2O3断熱材        チャンバーは優れた温度均一性を保証します。
• 冷却ファンは        効率的な換気を確保するための炉の底。
• 最大温度：1200°cおよび        連続温度：1100°c。
• 制御される2つの加熱ゾーン        別々に：

二重方向のスライドレールにより、   炉はスムーズに動きます。

• 200mm        各加熱ゾーンの長さ、合計加熱長400mm
• 250mm        2つのゾーンが同じ温度で加熱される場合、一定温度ゾーン
• 最大500oc        2つのゾーンの間にサーマルブロックを配置した場合の温度差

パワー

シングル加熱ゾーン
電源：208-240vac、50 / 60hz、単相、2.5kw（20aブレーカー   必須）

デュアル加熱ゾーン
パワー：   208-240vac、50 / 60hz、単相、4 kw（50aブレーカー   必須）
10   足なし電源ケーブル プラグ （質問する   プラグを行う資格のある電気技師）

加熱温度

• 最大温度：1100°c
• 連続温度：1000°c

加熱＆冷却   割合

最大加熱と冷却   速度は動作温度に依存します。下の表をクリックしてください   最大を参照してください。加熱＆冷却速度は温度によって異なります   範囲。
（あなたはあなたの職場で温度と加熱冷却速度を較正しなければならない   使用前の状態）
加熱プロット 冷却プロット

溶融石英管

• 高純度石英管：

真空シールされたフランジの2つのペア   水冷ジャケットとステンレス鋼製ニードルバルブ

• 外管 eq-qztube-101d-1400 ：od：4 "x id：        長さ3.8 "x 55"（外径100 x内径96 x 1400 mm）
• 内部        チューブeq-qztube-80d-1800：od：3.15：x id x 2.95 "x 70.8"        長さ（od 80 x id 75 x 1800 mm

真空フランジ

cvdの成長を誘導するためのデュアルチューブの使用 金属箔 （ラップアラウンド   内部チューブ表面）：

• 1-1。以下に示すように、1組の        ss304フランジは、外側のチューブとその間のスペースの両方をシールします        外側のチューブと内側のチューブ（このスペースは        反応室）。
• 左側フランジ：バーブ継手         ガス入口としてニードルバルブを使用し、 測定範囲10 ^ -4〜         1000トル 、         水冷インレット/アウトレット付属
• 右側フランジ：直角         kf25フランジ継手付きバルブ、真空リリースニードルバルブ、水         冷却入口/出口が含まれています

• 1-2。        ガス冷却のために内側チューブの両端を開いたままにします。
• 

究極の真空   圧力：10 ^ -2 torr（機械式ポンプによる）
10 ^ -5 torr（ターボ分子ポンプによる）

温度調節器

• pid自動制御        加熱速度を正確に制御するための30個のプログラム可能なセグメント、        冷却速度と滞留時間。
• 内蔵の過熱アラーム        また、保護により、アテンダントなしで操作できます。
• 以上        温度保護とアラームが可能        アテンダントなしの操作。
• +/- 1ºcの温度精度。
• rs485通信ポート。
• 高度な温度         コントロール （オプション）
• mts02-yの温度         制御ソフトウェアキット（yd518pシリーズコントローラー用）+ 15インチラップトップ         パッケージはオプションバーで入手できます。あなたはアップグレードすることができます         温度コントローラー ユーロサーム         3504温度コントローラー と完全に互換性があります         labview。このパッケージには、eurotherm 3504プログラマー、         通信ケーブル（rs485-usb）およびソフトウェアcd。写真をクリック         以下は、eurotherm 3504温度コントローラーの全仕様をご覧ください。
• 

質量流量計＆amp;ガス混合ステーション

• 4精密質量流量        デジタルディスプレイと調整ノブ付きのコントローラー（mfc）は        ガス流量を制御するために左下のケースに取り付けられています：
• 4ガスチャンネル（コンタクトmti        さらに必要な場合は販売）
• mfc         1：0〜100 sccmの制御範囲
• mfc         2：0〜200 sccmの制御範囲
• mfc         3：0〜200 sccmの制御範囲
• mfc         4：0〜500 sccmの制御範囲
• 流量精度：±1％        fs
• ガス入口および出口：1/4 "        swagelokチューブコネクタ
• 1つの80mlガス混合タンクは        ボトムケースに設置
• 各ガスチャンネルには        オン/オフが簡単なステンレス製ニードルバルブ
• 流量は調整可能です        mfcパネルから

真空ポンプステーションと   バルブ

オプション1：

水冷機能

• 水冷フランジには        ＆gt; = 10l / m水流。
• 水道水を        クーラント、ただし再循環水を使用することを強くお勧めします        環境を考慮したチラー。下の親指をクリックしてください        追加料金でウォーターチラーを注文してください。

オプションパーツ（建物   単一の管状炉に）

寸法

運送

• 出荷重量：〜800ポンド
• 3の貨物で出荷        パレット
• クレート料金が適用されます

保証

1年限定   メーカーの保証（処理チューブ、Oリングなどの消耗部品、   発熱体は保証の対象外です   以下の関連製品で交換品を注文してください）。

ラップトップ、ソフトウェア、   wifiコントロール（オプション）

• マイクロソフトとブランドの新しいラップトップ        window 10およびMicrosoft Office 2013（30日間の無料トライアル）の即時        使用する。
• labviewベースの温度        制御システム ユーザーが編集できるようにします        温度プロファイル、熱処理レシピの管理、データの記録とプロット        mti炉用。
• ワイヤレスリモコン        最大300メートルの動作範囲を提供します。
• 上記の機能が利用可能です        追加料金（最大1,000ドル）でリクエストに応じて。詳細についてはお問い合わせください        情報。

・ 注意：
ソフトウェアはmtiの湯温とのみ互換性があります   コントローラ

コンプライアンス

アプリケーションノート

• 石英管を備えた管状炉が設計されています        真空および低圧下で使用する場合＆lt; 0.2 bar / 3 psi /        0.02 mpa
• 注意 ：a        二段式圧力調整器をガスボンベに取り付けて、        安全な操作のために圧力を3 psi未満に制限してください。
• 流れ        ガスのレートは＆lt; 200 sccm（または200        ml / min）チューブへの熱衝撃を減らすため
• すべての石英管の真空限界の定義        炉：*真空圧は1000°cまでしか安全に使用できない
• ここをクリックして        学ぶ 設定方法        mtiチューブ炉用の石英/セラミックチューブおよび真空フランジ 。
• 1枚のスライド        炉の位置を保持するための停止クランプが含まれています。

• 後        cvd、グラフェンは金属触媒から別の触媒に移動する必要があります        ほとんどの用途の基材。を使用して グラフェン        転写テープ、残留物が少なくなることがあります。
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警告