1200°C デュアル ゾーン CVD 管状炉、マス フロー コントロール システムおよび真空システム

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https://www.youtube.com/watch?v=FzLjvMXq1pY&t=37s

真空状態での CVD、拡散、およびその他の熱処理およびシールド ガス保護などの実験に適しています。炉には、2 チャンネルのデジタル LED ディスプレイのマス フロー ガス制御ステーションが付属しています。

1. 管状炉

詳細な技術パラメータ s

モデル	TL1200-1200-I	TL1200-1200-Ⅱ	TL1200-1200-Ⅲ	TL1200-1200-IV
力	3.6KW	3.6KW	3.6KW	5.2KW
チューブサイズ （ 外径 ） （んん）	Dia60 （ 外径 ） X1000mm	ダイヤ80 （ 外径 ） X1000mm	ダイヤ100 （ 外径 ） X1000mm	Dia150 （ 外径 ） X1000mm
寸法	1140X460X695	1140X460X695	1140X460X695	1110X530X647
供給電圧	220V
段階	単相
発熱体	輸入抵抗線 スウェーデン製 Kanthal A1 (抵抗線2年保証)
温度管理	UAV プログラム温度 制御計器（標準） 1、30ステージプログラム 温度制御インテリジェント PID 調整。 2. と 過熱 保護、 の 電気の 炉 暖房 回路 は 自動的 切る オフ いつ の 温度 過熱または破損している場合 ( 電気炉の温度が 1200 度を超えるか、熱電対が 主回路の AC リレーは自動的に切断され、 主回路が壊れています。オン、パネルのオンライトがオフ、オフ ライトが点灯し、制限付き保護電気 炉）。

	3、485通信付き インターフェイス（ソフトウェア購入時の標準） 4、電源オフ保護機能付き、つまり、電源が切れたとき 電源を切ってから電源を入れた場合、プログラムは最初から起動しません。 開始温度ですが、炉の温度は時間から上昇します 停電。 5、メーターは 温度自動調整機能
炉材	1. 高品質 真空成形による高純度アルミナ多結晶繊維硬化炉 吸引 濾過。 2. によって形成されました 日本 テクノロジー。 3. 間隔と 炉内の抵抗線のピッチはすべてに従って配置されています 日本一の熱技術、温度場をシミュレート 熱によって ソフトウェア。
バルブとフランジ

60/80/100 上面図
制御精度	+/- 1 ℃
引き金	位相シフトトリガー
電化製品	Zhejiang chint
シリコンコントロール	106/16E シメンカン, ドイツ
1回目と2回目の最高気温 温度 ゾーン	1200 ℃
定格温度 の 最初と 2番目 温度 ゾーン	1100 ℃
加熱部の長さ 初め 温度 ゾーン	205mm
2番目の加熱セクションの長さ 温度帯	205mm
の長さ 絶え間ない 最初の温度の温度セクション	80mm

ゾーン
定数の長さ 2番目の温度セクション 温度 ゾーン	80mm
加熱率	≤30 ℃ / 分 (必要に応じて変更できます)
温度場曲線
おすすめされた の割合 温度 上昇	≤15 ℃ /分
熱電対タイプ	K タイプ
恒温 長さ	150mm
周辺 水面 温度	≤45 ℃
オープンカバー保護 システム	いつ 炉のカバーが開くと、リレーが自動的にメインを遮断します 電源、効果的に確保 安全性 ユーザーの

2.ガス供給システム

ガス供給システムの紹介：

(1) (混合) ガスシステムのコンポーネント:

a) フロートフロー メーターまたは陽子流量計

b) 圧力 ゲージ

c) カットオフ バルブ

d) インターフェース ボード

e) バルブ コネクタ

f) シリンダー コネクタ

g) テフロン チューブ（ガス供給または混合システムステーションとガスボンベの接続パイプ） 接続パイプ）

h) 混合ガス タンク

i) ステンレス 鋼管（ガス供給または混合制御システムステーションの接続管）

j) カバー

主な技術資料

いいえ	アイテム	D08-2E
1	出力 力	+15V±5% 300mA -15V±5% 600mA
2	リファレンス ソース	+5.00V±0.1% 5mA
3	力 供給	~220V/~110±10% 50/60Hz
4	最大 力	25W
5	入力 および出力信号	0～+5V
6	寸法	標準 寸法 ：（ 440X100X220 ） んん 最大 寸法 ：（ 440X114X278 ） んん
7	重さ	4.2kg
8	コントロール チャネル図と表示機能	2 MFC/MFMのチャンネルと2つのディスプレイモニター

3. 真空システム

システム（管状炉内を真空排気して 0.6Pa) は、KF25 インターフェースを備えた吸引フランジ (自作) で構成され、高 真空バッフル方式、抵抗真空計、ベローズ、ブラケット（自作）、 真空ポンプ フランジ出口に T パイプを接続し、抵抗を接続します 三方パイプの一端にシリコン、高真空フラッパーバルブを接続 もう一方の端に、フラッパー バルブと真空ポンプを接続します。 ダイヤ25のコルゲーション、接続口にはクイッククランプKF25をご使用ください。

技術的なパラメータ:

※流通規制：ZJ-52T抵抗計

* 測定範囲: 10 5 ～ 10 -1 Pa

※測定回数：1way

* 制御チャネル数: 2 つの道路を拡張可能 4つまたは8つの道路へ

※制御範囲：5×10 3 ～5×10 -1 Pa

※制御モード：リレー接点出力、負荷容量 AC220V/3A（またはDC28V/3A）無誘導負荷

* 電源: 90-260V/50Hz または 220V ± 10% 50Hz

* 消費電力: 25W

* 重量: 4Kg/3Kg/0.5Kg (シャーシによる)

*シャーシサイズ: 240 × 88 × 280 または 265 × 119 × 280 または 96×96×120

480×88×280または480×119×280（幅×高さ× 深さ）

性能特性：

*LEDグリーンスクリーンデジタルディスプレイ。

* 幅広い星の調査

* 応答速度が速い

* マイコン補正により非線形性を調整し、 測定誤差を低減します。

* オプティカル アイソレーション、デジタル フィルタリング、強化 干渉防止能力。

* PVC カラー パネル、美しい外観。

*ポイント制御またはエリアリレー制御出力、 セットポイントには、パワーダウン保護メモリ機能があります。

FX-16真空ポンプを採用

標準パッケージ

部 説明	量	部品イメージ
TMAX-2-1200-C 分割管炉	1セット
マルチチャンネル ガス供給システム	1セット
真空 ポンプとエンクロージャ (オプション)	1セット
石英 チューブ	1個
アナログ 流量計	1個
ステンレス 鋼製真空シール フランジ、圧力計付き	1セット
ステンレス スチールフック	1個
アルミナ セラミックサーマルブロック	2組
熱の 手袋	1ペア
高い 温度 Al 2 〇 3 アルミナるつぼ	5個
予備の ヒューズ	2個
USB/RS485 パソコン インターフェースキット	1セット