コンパクトな構造

入力電力

• 単相 AC220V 50/60Hz
• 2000W（真空ポンプ、冷水チラー含む）

ソースパワー

• 3つのスパッタリング電源が1つのコントロールボックスに統合されています（詳細な仕様を表示するには、下の写真をクリックしてください）
• DC電源：金属材料をコーティングするための500 Wの電力（写真1）
• RF ソース: 300 W 電力、非導電性材料をコーティングするための 13.56 MHz 周波数 (写真 2)

マグネトロンスパッタリングヘッド

• 3 つの 2" マグネトロン スパッタリング ヘッド 水冷ジャケットとシャッター付き
• スパッタヘッド一体型もございます。
• ターゲット サイズの要件: 直径 2 インチ
• 厚さ範囲: 金属および非導電性ターゲットの両方で 0.1 ～ 5 mm (バッキング プレートを含む)
• 1 ステンレスターゲット および 1 つの研究グレード Al2O3 ターゲット デモテスト用に含まれています
• オプションの 2 インチ スパッタリング ターゲット (またはバッキング プレート) は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。
• おすすめのスパッタリングレシピと役立つヒント
• カスタマイズされたコーター: 2 つの DC - 1 つの RF。 2 つの RF - 1 つの DC。 3 つの DC; 3 RF (製品オプションから選択してください)
• オプション: 交換用に 148 cm の RF ケーブルを追加料金で注文できます

真空室

• 真空チャンバー：φ300mm ×高さ300mm、ステンレス製
• ビューポート: 直径 100 mm の 2 つのピース。ガラス。 1 つの固定;クリーニングと交換のために取り外し可能なもの
• 空気力の電柱が付いている蝶番式のふたは容易なターゲット変更を可能にします

サンプルステージ

• サンプルホルダーは、銅製のカバーが付いたセラミックヒーターで作られた回転および加熱可能なステージです
• サンプルホルダーサイズ：直径140mm為に。最大4インチウェーハ
• 回転数：1～20rpm 調整可能で均一塗布
• ホルダー温度は、デジタル温度コントローラーを介して精度 +/- 1.0 °C で RT から最大 500 °C (最大 2 時間) まで調整可能です。

ガスフロー制御

• 精密マスフローコントローラー（MFC）を2台搭載し、2種類のガスを導入可能
  
  
• 流速：0～200mL/分・タッチ スクリーン コントロール パネルで調節可能な 0 - 100ml/分
• 真空破壊用のエアインレットバルブを設置

真空ポンプステーション

• 移動式ポンプステーションが含まれています。スパッタコーターはステーション上に設置可能
• 速度 80L/S の高速ターボ ポンプを 2 段式メカニカル ポンプ (220 L/min) と組み合わせることで、最大真空レベルと高速排気速度を実現
• チャンバー接続時の標準真空度：＜＜ 4.0E-5トル。 . (チャンバーベーキングで1.0E-6 Torr)
• 追加料金でオプション
• 150L/S 高速ターボポンプを選択した場合、真空はチャンバーで 10-6 torr (ベーキングで 6x10-7 torr) に達することができます。
• 10^-7torrまでの超高真空には、ターボポンプに加えてゲッターポンプ(100L/s H2&O2)が必要です。詳細なカスタマイズについては、当社のエンジニアにご相談ください。
• 150L/S高速ターボポンプ
• ゲッターポンプ
• 

水チラー

• 1 つのデジタル温度制御 再循環水チラー 含まれています。
• 冷蔵範囲：5～35℃
• 流量：16L/分
• ポンプ圧力: 14 psi

オプション

• 精密石英 膜厚モニター オプションで、0.10 Å の精度でコーティングの厚さを監視するためにチャンバーに入れることができます
• 精度 薄膜・コーティング分析システム - EQ-TFMS-LD 追加料金で利用可能です
• リクエストに応じて、さまざまな 2 インチの酸化物および金属ターゲットを追加料金で利用できます。銀エポキシおよび銅バッキング プレートは、TMAX で注文できます。

全体寸法

コーターの正味重量

• 160キロ

配送重量と重量寸法

• 合計 3 パレット
• 365ポンド、48インチ×40インチ×45インチ。
  
  
• 390ポンド、48インチ×40インチ×49インチ。
  
  
• 210ポンド、48インチ×40インチ×30インチ。
  
  

コンプライアンス

• CE承認
• MET 認証 (UL 1450) は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。見積もりについては、当社の営業担当者にお問い合わせください。

保証

• ライフタイム サポート付きの 1 年間限定保証

アプリケーションノート

• 安全に使用するために、ガス出力圧力を 0.02 MPa 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器 (付属していません) をガスシリンダーに取り付ける必要があります。
• チャンバーから酸素を除去するために、TMAX は 5% 水素 + 95% 窒素を使用してチャンバーを 2 ～ 3 回洗浄することをお勧めします。 10ppm
• ＞をご利用ください。プラズマスパッタリング用の純度5Nのアルゴンガスです。純度 5N の Ar ですが、供給元にもよりますが、通常 10 ～ 100 ppm の酸素と H2O が含まれています。 TMAXはあなたが使用することをお勧めします ガス浄化装置 充填前にガスを浄化します。
• 最高のパフォーマンスを得るには、非導電性のターゲットに銅のバッキング プレートを取り付ける必要があります。ターゲット結合については、以下の説明ビデオを参照してください。
• TMAXは単結晶基板をAからZまで供給
• TMAX スパッタリング コーターは、Al 上に ZnO をコーティングすることに成功しました 2 〇 3 基板温度 500 °C
• で薄膜/コーティングされた電極の柔軟性をテストします EQ-MBT-12-LD マンドレル曲げ試験機 .
• 高電圧！スパッタリングヘッドは高電圧に接続します。安全のため、オペレーターは、サンプルのロードおよびターゲットの変更操作の前に、RF / DC ジェネレーターをシャットダウンする必要があります。
• 水チラーに水道水を使用しないでください。錆や腐食を防ぐために防錆クーラントを使用する必要があります。