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製品
Sliding PECVD Furnace

3温度帯スライディングpecvdチューブ炉

  • Model Number:

    TMAX-1200-1400-1200

  • :

    Xiamen

  • お支払い:

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  • Delivery Time:

    5 days
製品の詳細

3温度帯スライディングpecvdチューブ炉


tmax-1200-1400-1200 システムは tl1200真空管炉、石英真空チャンバー、rf電源、 gxガス供給システム、ポンプシステム、真空測定システム。

主な特徴：

1.ガス 石英真空チャンバーは、RF電源によりイオン状態に変化します。

2. pecvdは 化学蒸着の通常のcvdよりも低い。

3.のストレス 蒸着膜は、RF電源の周波数によって制御できます。

4. pecvdは高い 通常のcvdよりも堆積速度、良好な均一性、一貫性および安定性。

5.広く使用されている siox、sinx、sioxny、アモルファスなどのさまざまなフィルムの成長 シリコン（a-si：h）など

tmax1200-1400-1200-h-pe スウェーデンのカンタル抵抗線発熱体へのシステム技術、 ダブルシェル構造と30プログラムの温度制御テーブルを使用して、 移相トリガー、サイリスタ制御、多結晶を使用した炉 アルミナ繊維材料、缶の両端のステンレス鋼フランジシール 炉管、ステンレス鋼フランジの取り付けには、口、バルブ、 圧力計、真空、真空度は10-3 pa、低温フィールドに達することができます バランス、表面温度、リフト温度率、省エネ、価格 譲歩など

1.スウェーデンのカンタルa1抵抗線

カンタル a1オリジナルワイヤ中国抵抗 ワイヤー炉vs   輸入抵抗線炉

（1）、高い表面温度は1420に達することがあります ℃

（2）表面がステンレス鋼（非常に明るい、顧客 それに注意を払う必要があります）、それは錆びず、使用時間は落ちません スラグから。

（3）カンタル抵抗線のデータがダウンロードされます

（4）カンタル抵抗線のWebサイト：www.kanthal.com

（5）抵抗はバランスが取れており、温度場は 同様に良い

ほとんどのメーカーは、moをドープしたfe-cr-al合金を使用しています 抵抗線、

時には抵抗が不均一であり、熱の一部が小さい                                           カンタル a1の抵抗は均一で熱バランスが取れており、良好な温度場                                                                                                                                                                       効果

2.空気のインストール スイッチおよび漏出保護装置：

電流または漏れ、空の会議 自動的に切断します。

3。 コンピューターと接続できます

この炉には通信インターフェースが装備されており、 ソフトウェアは、それぞれの炉のコンピュータ制御を介して直接することができます パラメータ、およびストーブとsvのコンピューターpvから観察できます。 温度値と機器の動作、実際の温度 炉曲線描画コンピュータリアルタイム、およびの温度データを保持することができます 毎回、いつでも呼び出すことができます

4。 チャンバー

（1 ）高品質高純度アルミナ多結晶 真空吸引とフィルター成形を備えた繊維硬化炉。

（2）。日本の技術を採用して形成します。

（3）。炉内の抵抗線の間隔とピッチ 日本の最高の熱技術に従って配置され、 温度場は熱ソフトウェアによってシミュレートされます

（4）。 4週間使用 加熱、温度はよりバランスが取れています

5.オプションのul 認定された電気ボード（すべての輸入のUL認証を通じて 電気製品）

6.トリガー

ソフトスタート 電流制限トリガー                           ほとんどのメーカーは非限定的なx門ボードトリガーを使用しています

1位相シフトトリガー（ソフトスタートおよび電流制限付き 関数）

2.加熱の調整方法に関係なく電流制限機能 変圧器の二次電流が制限された後の電気炉の時間 機器の170a以下の限定的な保護。非限定トリガー 加熱速度が正しく設定されていないか、速すぎます。低電流は非常に デバイスが大きくトリップまたは燃え尽きます。

3ソフトスタート機能は、電流が徐々に増加します 現在、発熱体の影響は小さいため、 発熱体の寿命の延長

4電流が制限を超えた場合の保護機能 現在、トリガーは自動的にトリガー機能を遮断して遮断します 現在の保護炉。

7. ul 認定トランス

1変圧器ケーブルは純粋です 銅

2トランスの音が小さい

3トランス温度は 低い

8.さまざまなフランジを選択するためのさまざまなオプション（直径 25から250mmまで）

モデル

tmax-1200-1400-1200

パワー

6kw

チューブサイズ

直径60（od）x2700mm

電源電圧

220 v

フェーズ数

単相

発熱体

スウェーデンの角膜a1抵抗をインポートする   クリックしてデータをダウンロード

制御モード

電気プログラム制御を使用して   温度計（標準）
1. 30プログラム制御温度インテリジェントPID調整。
2.電気炉の加熱回路を自動的に遮断することができます   暖かく保護されているか、誤って破損した場合。 （炉が   温度が1200度を超えるか、熱電対が破損している、ACリレー   主回路は自動的に切断され、主回路は   壊れている、パネルのライトが消灯している   電気炉。
3. 485通信インターフェイス（標準および選択のための標準   ソフトウェア）
4.それに停電の保護の機能があります、すなわち、とき力   オフの場合、プログラムは開始温度から起動しませんが、   炉は電源がオフになると上昇し始めます。
器具は温度の自己設定の機能を備えています


（インポートした楽器を交換するには、別の料金を支払う必要があります。）

FP93温度制御テーブル          タッチスクリーン楽器

（シマデン）

温度制御モード

pid

壊れた保護とディスプレイ

はい

過熱保護

はい

過電流保護

はい

制御精度

+ /-1 ℃

引き金

位相シフトトリガー

電気製品

he江チント

シリコン制御整流器

106 / 16e西門、ドイツ

最高温度

温度帯1：1200 ℃ 温度   ゾーン2：1200 ℃

定格温度

温度帯1：1100 ℃ 温度   ゾーン2：1100 ℃

加熱速度

20 ℃ /分以下   （要件に応じて変更可能）

推奨加熱速度

10 ℃ /分以下

熱電対のモデル

ゾーン1：kタイプの温度範囲   2：kタイプ

加熱長さ

ゾーン1：200 mmの温度範囲。   2：200 mm

電気認証

ce

周囲の表面温度

45 ℃ 以下

RF電源

（プラズマ発生器）

出力範囲

0-500 w

最大反射電力

200週

動作周波数

rf：13.56 mhzプラスまたはマイナス0.005％

電力安定性

+ /-0.1％

高調波成分

-50以下のdbc

rf幅

0-600-mmは調整可能

マッチングモード

自動

冷却モード

風邪

ノイズ

＆lt; 50 db

無線周波数インターフェース

50Ωn-タイプ

入力電力

208-240-v 50/60 hz

gxガス供給の主なパラメーター   システム

質量流量計
標準範囲
プロトン流量コントローラー5、10、20、30、50、100、200、300、500 sccmを使用して、   1、2、3、5、10 slm
（範囲の範囲とガスの種類を選択できます）
最大作動圧力3 mp
プラスまたはマイナス1.5％の精度
圧力降下＆lt; 0.01 mpa＆lt; p = ""＆gt;
繰り返し精度±0.2％f.s

チャンネル：

1、2、3、4、5、6、7、8（オプション）

ジョイントタイプ

ダブルカセットステンレス   コネクタ

システム作業圧力範囲

0.1〜0.5 mpa

作業温度

5-45 ℃

圧力真空時計

0.1〜0.15 mpa〜0.01 mpa /ケース

静的混合チャンバー

dia50 x 400 mm

インターフェース

dia6 1/4 "

電源

220 v

サイズ

600 x600x600

コルゲートパイプ

kf25x1000mm

真空度に到達することができます   このシステム

10-1パ

真空バッフルバルブ

kf25

vrdから8真空ポンプ

モデル

vrdから8

分圧を制限する

5 x10-2 pa

吸気口インターフェイス

kf25

モーター速度

1440 rpm

抽出率

2.2リットル/秒

モーターのパワー

0.4 kw

perfeer acp1オイルフリー多段   ルーツポンプ（計画2）

モデル

acp15

電源

ac100〜240v 50 / 60hz

パワー

450ワット

排気インターフェース

kf25

重量

25キロ

最大ヘリウム漏れ率は

5・10-8 pa m3 / s

極度の真空度

0.02トル

抽出率は

14 m3 / h

モデル

zdr-1

パワー

25週

真空度測定範囲

0.1-10 5 pa

抵抗シリコン

zjが52 tに持っていたもの

スウェーデン（インフィコン）ピラニ静電容量   真空計（オプション）

モデル

pcg554

入力電圧

24V 1A DC（220Vを装備   変成器）

真空計インターフェース

kf16

デジタルディスプレイ

デジタルディスプレイ（画面サイズ20x14mm）、   データ表示単位はtorr

商品のサイズ

46mm x 28mm x 126mm（l x w x h）

の重量

5ポンド

ガスの検出

さまざまなガスを検出できます   混合ガスを含み、正確で再現性があります。

防食かどうか

防食

応答時間

30ミリ秒以下

測定範囲

3.8 x10-5-1125トル

分子ポンプユニット（オプション）

ユニット入力電圧

380 v / 220 v

コルゲートパイプ

kf40x1000

真空バッフルバルブ

kf40

ケースサイズ

600 x600x600

分子ポンプ

分子ポンプモデル

fj620

入力電圧

380 v

分子ポンプ入口フランジ

dn160

分子ポンプ排気速度l / s（   空気）

600

分子ポンプ限界圧力（pa）

6 x 10-7

冷却システム

水冷

冷却水圧（mpa）

0.1から0.2

冷却水温度

＆lt; 25 ℃ ＆lt; p =   ""＆gt;

環境温度

0〜40 ℃

推奨開始圧力

＆lt; 100 pa＆lt; p = ""＆gt;

エンジン真空ポンプrvp-6

パワー

0.75 kw

電圧

380 v

速度

1450 rpm

入口径

kf25 / kf40

ポンプポンプ速度（l / s）

6

究極の圧力

4 x 10-2 pa

ドイツファイファー真空ポンプ

電圧

220 v

パワー

110週

抽出インターフェース

kf40

の重量

150キロ

フロントポンプのポンプ速度

0.9 m 3 /時間

抽出率（n2）

33 m / s

複合真空計

複合真空計モデル

zdf

電源

220 v 55 w

制御精度

プラスまたはマイナス1％

真空計測定範囲

10-5-10 5 pa

PECVD Furnace


1。 私達は機械を供給します バッテリー技術サポート付き。

2。 私たちは供給します フルセット リチウム電池機器 ラボ研究、パイロットスケール研究、生産林向け e。


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1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

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