炉構造

• 二層鋼        空冷式のケーシングにより、炉の表面温度が        60°C。
• 高純度繊維状        最大限の省エネのためのアルミナ断熱。
• 分割カバー インターロック保護 、次の場合は電源を切る        炉の加熱プロセス中に蓋が開きます。

電源入力

208-240 AC、50/60 Hz単相、最大9 kw （60a   ブレーカーが必要）

発熱体

• 8個の1kwハロゲン        ライトチューブ（直径= 10mm、l = 300mm、加熱長さ        = 200mm）
• 標準的なワーキングライフ：        2000時間（加熱速度に依存）
• ハロゲン        ライトチューブは消耗品です。左の写真をクリックして注文してください        予備の

加熱ゾーン

4 "の恒温ゾーンを備えた12"の長さ   +/-5ºcの均一性内

作業温度

• 最大1100ºc ＆lt; 10        数分
• 最大1000ºc ＆lt; 20        分（注：長時間実行すると、ファーネスケースは＆gt;        100oc、外部からファン冷却ケースを使用する必要があります）
• 最大800ºcにとって        ＆lt; 120分
• 最大600ºcにとって        連続的

最大加熱速度

50ºc/秒

冷却速度

• 最大冷却：60ºc/ min        （真空下：200 mtorr）、117ºc/ min（大気中        圧力）
• 最も低い冷却：        10ºc/分

熱電対

kタイプ、熱電対の頭部が   下から窒化アルミニウムのサンプルホルダー

温度調節器

• 温度調節器        含まれています。
• 比例-積分-微分        制御（pid制御）および自動調整機能
• プログラムされた30セグメント        傾斜、冷却、住居のステップ
• ビルトイン        過熱アラームおよび熱電対故障アラーム
• +/- 1ºcの温度        制御精度
• デフォルトのdb9 pc        通信ポート
• 認定済み

温度調節器（オプション）

• mts02-yの温度        制御ソフトウェアキット（yd518pシリーズコントローラー用）+ 15インチラップトップ        パッケージはオプションバーで入手できます。
• あなたはアップグレードすることができます        温度コントローラー eurotherm 3504        温度調節器 これは        labviewと完全に互換性があります。このパッケージには        eurotherm 3504プログラマー、通信ケーブル（rs485-usb）および        ソフトウェアCD。以下の写真をクリックして、eurotherm 3504の全仕様をご覧ください。        温度コントローラー。

石英管＆amp;サンプルホルダー

• クォートチューブサイズ： 4.33 "o.d x        4.05 "i.d x 16.2"長さ 。 1 直径3インチのaln        サンプルホルダー 直径3 "までのサンプルをアニールするには        含まれています。 alnは非常に高い熱伝導率を持ち、        サンプル領域で最高の温度均一性。
• オプション： 3 '' o.d厚いグラファイト        基板 ainプレートの代替として使用できます。        （注文するには下の写真-3をクリックしてください）
• オプション： 黒鉛るつぼ：87        直径mm x内径71 mm x高さ12 mm、蓋付き のために設計されています        3 "サンプルホルダー、または に修正 rte、        cssまたはhpcvdファーネス でコーティングされた黒鉛るつぼで        シック
• サンプルホルダーは        他の目的のためにRTP炉を使用するためにフランジから取り外し可能。

真空フランジ

• kf-d25高真空        フランジはダブルハイテンプのステンレススチール製です。シリコンOリング、        ニードルバルブ、水冷ジャケット。
• 水だけが必要です        長時間の長時間の温度での冷却＆gt; 600 ^o c。
• 循環水量：        0.5メートル ³ / hr。
• スライドアウトフランジ        サンプルやその他のロード、アンロードの簡単な方法を提供します        特定のプロセスが必要です。
• 挿入可能        正確な測定のための熱電対。
  
  

真空ポンプ（オプション）

• eq-fyp真空ポンプは        この炉に推奨。これの最終的な真空圧        システムは10 ^ -3 torrです。真空ベローズとクランプがこれに含まれています        パッケージ。 eq-fyp真空ポンプの仕様については、ここをクリックしてください。

水冷（オプション）

• 冷却水は        必須。
• 確認してください        冷却水の流量は≥10l / min、水温です。 ＆lt;        25ºc;圧力＆gt; 25 psi
• を使用することをお勧めします        eq-kj5000シリーズ 再循環水チラー として        冷却システム（関連製品で別途注文してください        下）水を節約します。
• 警告：このrtp        炉の最大滞留時間は、600秒未満        水道水で1000ºc〜1100ºc、そうでない場合、Oリングが溶けることがあります。

流量計

1つの流量計は、フロントパネルにインストールされます   16-160 ml / minからのガス流量の調整

真空計

測定範囲付きデジタル真空計   10から ^-4 1000 torrが炉に取り付けられています。

真空圧ガス継手

• 圧力が届きます        kf25アダプタを備えた機械式真空ポンプを使用した50 mtorr
• 圧力は10に達することができます ^-4 トル        kf25アダプタを備えた分子ポンプによる

寸法

• 閉じたフランジ：        760mm（l）x 330mm（w）x 530mm（h）/開いたフランジ：1200mm（l）x 330mm（w）        x 530mm（h）

正味重量

70 kg（150ポンド）

保証

寿命付きの1年間のメーカー限定保証   サポート（処理チューブ、Oリング、ハロゲンなどの消耗部品   ランプは保証の対象外です。ご注文ください   以下の関連製品の代替品）。

ラップトップ、ソフトウェア、無線LAN制御（オプション）

• ブランドの新しいノートパソコン        Microsoft Windows 10およびMicrosoft Office 2013（30日間の無料試用）        すぐに使用。
• labviewベース        温度制御システム） ユーザーが編集できるようにします        温度プロファイル、熱処理レシピの管理、データの記録とプロット        mti炉用。
• ワイヤレスリモコン        制御は最大300メートルの動作範囲を提供します。
• 上記の機能は        リクエストに応じて追加料金で利用できます（最大1,000ドル）。お問い合わせください        詳細についてはお問い合わせください。
• 注意：
  ソフトウェアはmtiのyudianとのみ互換性があります        温度調節器
  

• rtp炉と高真空ステーション、または真空炉またはcvdシステムとしてのガス塗装システムと組み合わせることができます。詳細を見るには下の写真をクリックしてください
• 高速冷却速度（＆lt;10ºc/秒）を実現するには、スライドレールを備えたrtp炉を選択できます。下の画像をクリックして詳細をご覧ください。

• 圧力制御モジュールを注文できます。
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アプリケーションノート

• 管状炉        石英管は、真空および低圧下で使用するために設計されています        ＆lt; 0.2 bar / 3 psi / 0.02 mpa。真空圧は        1000°cまで安全に使用されますガスの流量を制限する必要があります        チューブへの熱衝撃を減らすために、＆lt; 200 sccm（または200ml / min）
• 注意：2段階        圧力調整器をガスボンベに取り付けて、        安全な操作のために3 psi未満の圧力。 この炉もできます        なる に修正 rte、cssまたはhpcvdファーネス グラファイト付き        sicでコーティングされたるつぼ（詳細は、左の写真をクリックして、        diyによるrte処理）
• cvdの後、グラフェン        金属触媒から別の基質に移さなければならない        ほとんどのアプリケーション。を使用して グラフェン転移        テープ 、残留物が少なくなる可能性があります。