真空 p アンプ s ら

( 〇 必須） r 耳道 v アキューム p アンプ+( o 無料です） t アーボ メートル オレキュラン p アンプセット

ロータリー p アンピング s おしっこ

50Hz：16 m³ / h(4.4L/s)/60Hz:19.2 m³ /h (5.2L/s)

分子 p アンピング s おしっこ

300L/ s

真空 l 模倣する

5*10 ^-5 パ

働く p 圧力をかける

0.5～5Pa

掃除機をかける t 私 自分

>10 分(10 ^-3 パ）

真空 メートル 安心

大気から大気までの測定範囲 1*10 ^-6 パ

ガス c 制御

ガス へ 低い c コントローラ

チャンバー s 化する

φ260×200mm（高さ） メートル その他

マグネトロン t ターゲット s ソース

ターゲットサイズ φ50×3mm(Cu)/ t ターゲット ソース: w イーク メートル 磁気 s 物質 / メートル 材料

手術 メートル 方法

取扱説明書 l

重さ/ s 化する

100kg/長さ610mm×幅420mm ×高さ490mm

力 s 供給する

AC110V 60Hz または AC220V 50Hz

力 c 消費

<3000W

冷却 メートル 方法

空気 c ウーリング( p ump)+ w 後で c ウーリング( s パタリング t 主張）

保証

ライフタイム製品サポート付きの 1 年間限定保証