あらゆる種類の基板を洗浄するための基板ヒーターを備えた卓上型紫外線 (UV) オゾンクリーナー

特徴

TMAX-PCE-22 は デスクトップ 紫外線 (UV) オゾン クリーナー、基板ヒーター付き 、 どれの あらゆる種類の基板の洗浄に使用されます 低コストでより良い薄膜品質を実現します。また、フォトレジストを除去および剥離し、表面の濡れ性を改善し、SEM の洗浄と洗浄を行うための優れたツールです。 TEM サンプル、UV ポリマー活性化、アセンブリなど。

UV-オゾンクリーナーは、 高い効果がある 強力な 185 nm および 254 nm UV 光を使用した、非酸性、乾燥、非破壊の原子洗浄および有機汚染物質の除去用 .空気中および室温下で、185 ラインはオゾンを生成し、254 ラインは表面の有機分子を励起します。この組み合わせは、有機汚染物質の急速な破壊とデシメーションを促進します。

仕様

入力電力	・AC 220V 50/60Hz（ご要望に応じてAC110Vも可能） ・パワー 350W Max.
環境要件	· 屋内使用のみ。高度 5,500 フィートまで使用可能。 ・温度範囲華氏41～104度。 · 最大相対湿度 80%、華氏 87 度まで。華氏 104 度で相対湿度 50% まで直線的に減少。 · 主電源の変動が公称電圧の 10% を超えないこと。過電圧カテゴリ II; · 汚染度 2; <45 ppb でのオゾンレベル (周囲) 測定。
UVランプ	・固体金属二重波水銀ランプ · 波長: 253.7nm および 184.9nm ・UVランプ寿命：5000時間 ・UV照射エリア：200×200mm · 直径12インチ×厚さ35mmまでの水晶ウエハーを洗浄できます。 · UV ランプは、輸送中の損傷を避けるために、機械とは別に出荷されます。
商工会議所 &amp;サンプルステージ	・ステンレスケース · 簡単にサンプルをロードできるスライド式引き出し · サンプルステージの面積は 310 mm x 320 mm ( ~12"x12" ) · 最大。サンプルの厚さ: 40 mm ・チャンバー内にオゾン排気装置を内蔵 · タイマー範囲は 0.01 秒から 99.9 時間です。
加熱可能なサンプルステージ	・試料台は精密温度調節器で150℃まで加熱可能 · 温度コントローラは、+/-2 C の精度でプログラム可能な 20 セグメントです。 · 温度均一性: 直径 6 インチの領域内で <10C。 <20C 直径 12 インチ以内 ・加熱率：最大15℃。 ・試料台とランプの距離は20mmから40mmまで調整可能です。
ベントポート	· 直径 3 インチのベント ポートは、マシンの背面に組み込まれています。 · 10 フィートのフレキシブル パイプ 1 つとベント クランプ 1 つが含まれており、クリーナーの排気をラボのベント システムに接続できます。
寸法	・510mm×350mm×400mm（幅×高さ×奥行き）
正味重量	・62ポンド
配送重量と重量寸法	・160ポンド ・47インチ×39インチ×32インチ
保証	ライフタイム サポート付きの 2 年間限定保証。壊れやすい UV ランプは保証対象外です。
応用	・クリーンシリコンウエハー、ガリウム砒素ウエハー、石英、ITOガラス ・サファイア、STO、LAOなどあらゆる酸化物単結晶基板の洗浄。 ・金と白金の表面をきれいにする ・軽金属材料の酸化面 ・ポリマーの活性化とポリマーの架橋 ・UV剥離フォトレジスト・フォトレジスト ・UVクリーン生産ライン LED表示