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製品
Slliding Furnace

デュアルチューブ(100/80 mm)-cvdスライディング炉および4チャネルガスおよび真空システム

  • Model Number:

    TMAX-1200X-4-C4-SL-U
  • お支払い:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
製品の詳細

デュアルチューブ(100/80 mm)-cvdスライディング炉および4チャネルガス&真空システム


tmax-1200x-4-c4-sl-ul は 薄膜をコーティングするために設計された特別なデュアルチューブcvdシステム 金属箔、特にフレキシブル電極の準備用 新世代エネルギー研究の金属箔。高速加熱と 炉をスライドさせることで冷却できます。操作を参照してください 炉の操作を見るための指示セクション:

  • デュアルクオーツチューブ:直径100mm外部チューブと80で中断      mm径内部チューブ。 金属箔 (グラフェン成長      基材)は、チューブ表面の内側に巻き付けられます      cvd反応。
  • 真空シールフランジ      デュアルチューブの場合、反応性ガスが2つのチューブ間を流れることができます(      10mmスペース)および冷却用チューブ内の不活性ガスの流れ。
  • 4つのガスチャンネル      4つの独立したデジタルmfcで制御
  • 真空ポンプは      プラグアンドプレイ用のkf25アダプタとパイプに付属
  • スライドレールは      シングルゾーンファーネスの底部に設置されており、高速      加熱炉または一方の側から反対側にスライド炉による冷却。
  • ワンスライド停止      炉の位置を保持するためのクランプが含まれています。

加熱ゾーンと真空システムの両方を選択可能:シングルまたはデュアル加熱 ゾーン;高速オイルレスドライ真空ポンプ-vbs-m1または2ステージ 機械式ポンプ-vbs-acp15。

仕様:

炉構造

シングル加熱ゾーン

  • 高純度のAl2O3断熱材        チャンバーは優れた温度均一性を保証します。
  • 冷却ファンは        効率的な換気を確保するために炉の底。
  • スライディングフランジアセンブリが作られています        ステンレス鋼の。
  • デュアルクオーツチューブ:100mm        直径外径チューブ、直径80 mmで吊り下げられています。インテリア        チューブ。 金属箔 (グラフェン        成長基質)は、チューブ表面の内側に巻き付けられます        cvd反応
  • 加熱ゾーンの長さ:440mm
    恒温加熱ゾーンの長さ:120(±1°c)@ 400〜1100°c

デュアル加熱ゾーン

  • 高純度のAl2O3断熱材        チャンバーは優れた温度均一性を保証します。
  • 冷却ファンは        効率的な換気を確保するための炉の底。
  • 最大温度:1200°cおよび        連続温度:1100°c。
  • 制御される2つの加熱ゾーン        別々に:

二重方向のスライドレールにより、   炉はスムーズに動きます。

  • 200mm        各加熱ゾーンの長さ、合計加熱長400mm
  • 250mm        2つのゾーンが同じ温度で加熱される場合、一定温度ゾーン
  • 最大500oc        2つのゾーンの間にサーマルブロックを配置した場合の温度差

パワー

シングル加熱ゾーン
電源:208-240vac、50 / 60hz、単相、2.5kw(20aブレーカー   必須)

デュアル加熱ゾーン
パワー:   208-240vac、50 / 60hz、単相、4 kw(50aブレーカー   必須)
10   足なし電源ケーブル プラグ (質問する   プラグを行う資格のある電気技師)

加熱温度

  • 最大温度:1100°c
  • 連続温度:1000°c

加熱&冷却   割合

最大加熱と冷却   速度は動作温度に依存します。下の表をクリックしてください   最大を参照してください。加熱&冷却速度は温度によって異なります   範囲。
(あなたはあなたの職場で温度と加熱冷却速度を較正しなければならない   使用前の状態)
加熱プロット 冷却プロット

溶融石英管

  • 高純度石英管:

真空シールされたフランジの2つのペア   水冷ジャケットとステンレス鋼製ニードルバルブ

  • 外管 eq-qztube-101d-1400 :od:4 "x id:        長さ3.8 "x 55"(外径100 x内径96 x 1400 mm)
  • 内部        チューブeq-qztube-80d-1800:od:3.15:x id x 2.95 "x 70.8"        長さ(od 80 x id 75 x 1800 mm


真空フランジ

cvdの成長を誘導するためのデュアルチューブの使用 金属箔 (ラップアラウンド   内部チューブ表面):

  • 1-1。以下に示すように、1組の        ss304フランジは、外側のチューブとその間のスペースの両方をシールします        外側のチューブと内側のチューブ(このスペースは        反応室)。
    • 左側フランジ:バーブ継手         ガス入口としてニードルバルブを使用し、 測定範囲10 ^ -4〜         1000トル 、         水冷インレット/アウトレット付属
    • 右側フランジ:直角         kf25フランジ継手付きバルブ、真空リリースニードルバルブ、水         冷却入口/出口が含まれています

  • 1-2。        ガス冷却のために内側チューブの両端を開いたままにします。

究極の真空   圧力:10 ^ -2 torr(機械式ポンプによる)
10 ^ -5 torr(ターボ分子ポンプによる)


温度調節器

  • pid自動制御        加熱速度を正確に制御するための30個のプログラム可能なセグメント、        冷却速度と滞留時間。
  • 内蔵の過熱アラーム        また、保護により、アテンダントなしで操作できます。
  • 以上        温度保護とアラームが可能        アテンダントなしの操作。
  • +/- 1ºcの温度精度。
  • rs485通信ポート。
    • 高度な温度         コントロール (オプション)
    • mts02-yの温度         制御ソフトウェアキット(yd518pシリーズコントローラー用)+ 15インチラップトップ         パッケージはオプションバーで入手できます。あなたはアップグレードすることができます         温度コントローラー ユーロサーム         3504温度コントローラー と完全に互換性があります         labview。このパッケージには、eurotherm 3504プログラマー、         通信ケーブル(rs485-usb)およびソフトウェアcd。写真をクリック         以下は、eurotherm 3504温度コントローラーの全仕様をご覧ください。


質量流量計&ガス混合ステーション

  • 4精密質量流量        デジタルディスプレイと調整ノブ付きのコントローラー(mfc)は        ガス流量を制御するために左下のケースに取り付けられています:
  • 4ガスチャンネル(コンタクトmti        さらに必要な場合は販売)
    • mfc         1:0〜100 sccmの制御範囲
    • mfc         2:0〜200 sccmの制御範囲
    • mfc         3:0〜200 sccmの制御範囲
    • mfc         4:0〜500 sccmの制御範囲
  • 流量精度:±1%        fs
  • ガス入口および出口:1/4 "        swagelokチューブコネクタ
  • 1つの80mlガス混合タンクは        ボトムケースに設置
  • 各ガスチャンネルには        オン/オフが簡単なステンレス製ニードルバルブ
  • 流量は調整可能です        mfcパネルから

真空ポンプステーションと   バルブ

オプション1:

  • ファイファーズ        高速(226l / min)オイルレスドライ真空ポンプ、10e-3 torr制限 は        頑丈なモバイルカート内に設置されています。写真をクリックしてください        詳細については以下をご覧ください。
  • kfd25        アダプタ そして ステンレス        鋼管 は        ポンプとチューブフランジの間に正確に接続 玉        バルブ
  • 10e-2 torrの真空は        加工管内で実現
  • デジタル        真空計 (製        アメリカでは)左側のフランジに取り付けられています。
  • (オプション)高真空用        10 ^ -5 torrまでのレベル、モバイル以下で注文してください ターボ        ポンプ

オプション2:

  • ヘビーデューティーダブルステップロータリーベーン        排気フィルター付き真空ポンプkf-d25インレット インストールされています        頑丈なモバイルカートの中。詳細については、下の画像をクリックしてください        詳細。
  • 6.7x10 -4 mbar        処理チューブ内で真空を実現できます
  • デジタル        真空計 (製        アメリカでは)左側のフランジに取り付けられています。クリックしてください        詳細については、下の2番目の図
  • より高い真空レベルのために        10 ^ -5 torr、モバイル以下で注文してください ターボポンプ 追加料金で:

水冷機能

フランジの水冷は主にOリングを冷却するためのものです   フランジの内側で、高温で最高の密閉チャンバーを確保します。

  • 水冷フランジには        > = 10l / m水流。
  • 水道水を        クーラント、ただし再循環水を使用することを強くお勧めします        環境を考慮したチラー。下の親指をクリックしてください        追加料金でウォーターチラーを注文してください。

オプションパーツ(建物   単一の管状炉に)

あなたは80mmを構築することができます   直径余分なシーリングフランジを注文することによる単管反応室   それらを内部チューブに取り付けます:

  • 左側フランジ:バーブ継手        ガス入口としてのニードルバルブと        お客様が測定センサーを挿入する
  • 右側フランジ:kf25継手        メカニカルゲージと真空リリースバルブ付き

寸法

  • 炉:550 x        380 x 520mm
  • 下部モバイルケースx 2:600 x        600 x 600mm(1つはガス混合ステーション用、もう1つは真空ポンプ用)

運送

  • 出荷重量:〜800ポンド
  • 3の貨物で出荷        パレット
  • クレート料金が適用されます

保証

1年限定   メーカーの保証(処理チューブ、Oリングなどの消耗部品、   発熱体は保証の対象外です   以下の関連製品で交換品を注文してください)。

ラップトップ、ソフトウェア、   wifiコントロール(オプション)

  • マイクロソフトとブランドの新しいラップトップ        window 10およびMicrosoft Office 2013(30日間の無料トライアル)の即時        使用する。
  • labviewベースの温度        制御システム ユーザーが編集できるようにします        温度プロファイル、熱処理レシピの管理、データの記録とプロット        mti炉用。
  • ワイヤレスリモコン        最大300メートルの動作範囲を提供します。
  • 上記の機能が利用可能です        追加料金(最大1,000ドル)でリクエストに応じて。詳細についてはお問い合わせください        情報。

注意:
ソフトウェアはmtiの湯温とのみ互換性があります   コントローラ

コンプライアンス

  • ce        認証済み
  • すべて        電気部品(> 24v)はul / met / csa認定済み
  • その        炉は、tuv(ul61010)またはcsaの認証に合格する準備ができています。        追加費用。

アプリケーションノート

  • 石英管を備えた管状炉が設計されています        真空および低圧下で使用する場合< 0.2 bar / 3 psi /        0.02 mpa
  • 注意 :a        二段式圧力調整器をガスボンベに取り付けて、        安全な操作のために圧力を3 psi未満に制限してください。
  • 流れ        ガスのレートは< 200 sccm(または200        ml / min)チューブへの熱衝撃を減らすため
  • すべての石英管の真空限界の定義        炉:*真空圧は1000°cまでしか安全に使用できない
  • ここをクリックして        学ぶ 設定方法        mtiチューブ炉用の石英/セラミックチューブおよび真空フランジ
  • 1枚のスライド        炉の位置を保持するための停止クランプが含まれています。

  • 後        cvd、グラフェンは金属触媒から別の触媒に移動する必要があります        ほとんどの用途の基材。を使用して グラフェン        転写テープ、残留物が少なくなることがあります。

警告

  • 高速サンプル        冷却は、加熱室をスライドさせることで実現できます。着てください        耐熱スーツなどの保護具あなたが意図する場合は手袋        そうするには。
  • 触れないでください        高温のチューブ表面!

CVD Sliding Furnace


1。 私達は機械を供給します バッテリー技術サポート付き。

2。 私たちは供給します フルセット リチウム電池機器 ラボ研究、パイロットスケール研究、生産林向け e。


 Vacuum Tube Furnace


1つの標準輸出パッケージ:内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

2最適な方法を見つけるために、顧客の要件に応じて、速達、航空、海上で出荷します。

3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷部分を変更します。