特徴

• SEM試料用導電性金膜コーティング専用設計
• 金、プラチナ、銀などの金属コーティング用に設計された小型プラズマ スパッタリング コーター
• 1 2" ゴールド (4N) ターゲット 含まれています

入力電圧

• AC220V 50/60Hz 200W
• < 1000W（真空ポンプ動力含む）
• 110VAC 電源は、 1000W変圧器（15Aヒューズ） .トランスは別売りです

出力電圧

• DC500V

スパッタリング電流

• 0 ～ 50 mA (最大) 調整可能なスパッタリング電流
• デジタル電流計 (mA)
• 過電流保護

スパッタリング時間

• 1 -120 秒調整可能

試料室

• 石英ガラス管、外径165mm。 x 150 mm ID x 150 mm 高さ

標本ステージ

• 直径2インチ
• 高さ調整可能、サンプルからターゲットまで 30 ～ 80 mm

スパッタリングヘッド

• 2" マグネトロン スパッタリング ヘッド
• ターゲット保護用の手動シャッター 1 つ

真空圧

• デジタル真空圧力計(Pa)
• KF25 真空ポンプコネクタ
• メカニカルポンプによる到達真空度1Pa。をポンプは別売

真空ポンプ（オプション）

• 2 段ロータリーベーンポンプ EQ-FYP をお勧めします。
• オプション: を使用できます ターボポンプ ターボポンプで1.0E-5Torrの真空を実現（右下の写真をクリック）

入力ガス

• 不活性ガスボンベを接続するための 1/4 Swagelok タイプのチューブ継手が 1 つ取り付けられています。
• 入力ガスを調整するための 1 つの計量バルブが前面パネルにあります。

目標

• 直径50mm 1個×0.12mmゴールドターゲット付属
  
  
• 4N純度の金箔：直径50mm(2インチ)。 x 0.12 mm (付属、コーターにプリインストール)
  
• オプションのターゲットが利用可能 （ご注文は下記をクリック）
  • Auターゲット (φ50×0.12mm、純度4N)
  • ポイントターゲット (φ50×0.12mm、純度4N)
  • Ag ターゲット (φ50×0.5mm、純度4N)

このモデルは、金、銀、プラチナのコーティングに適しています。低エネルギーのため、Al、Mg、Zn、またはカーボンターゲットなどの軽金属材料のコーティングには適していません。 当社のハイパワーDC/RFマグネトロンスパッタリングコーターや熱蒸着コーターをご検討ください。

製品の寸法と重量

• 460mm（L）×330mm（W）×520mm（H）
• 20kg

配送重量と重量寸法

• 80ポンド
• 45インチ×45インチ×40インチ。

コンプライアンス

• CE認定
• 追加料金で UL/CSA 認証に合格する準備ができています。

保証

• 生涯サポート付きの1年間限定

アプリケーションノート

• フィルムと基材の接着強度を最大限に高めるには、コーティングの前に基材表面をきれいにしてください。
• 超音波洗浄 (注文するには下の写真をクリック) (1) アセトン、(2) イソプロピル アルコール - を順番に使用して、オイルとグリースを除去します。 N2 で基板をブロー乾燥し、真空中でホットベークして吸収した水分を除去します。
• プラズマ洗浄 (下の写真をクリックして注文) は、表面の粗面化、表面の化学結合の活性化、または追加の汚染除去のために必要になる場合があります。
• Cr、Ti、Mo、Ta などの薄いバッファ層 (~5 nm) を適用して、金属や合金の接着性を向上させることができます。

• 安全に使用するために、ガスの出力圧力を 0.02 MPa 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器 (付属していません) をガスシリンダーに取り付ける必要があります。 ＞をご利用ください。プラズマスパッタリング用5N純度Arガス
• スパッタリング コーターは、コーティング用の Ar および N2 ガス グローブ ボックスに配置できます。
• コーティングの厚さを増やすには、複数回コーティングしてください。水冷機能がないため、使用ごとに数分間マシンを冷却してください。
• 高電圧！スパッタリングヘッドは高電圧に接続します。安全のため、オペレータはサンプルのロードおよびターゲットの変更操作の前に装置をシャットダウンする必要があります
• このモデルは、エネルギーが低いため、Al、Mg、Zn、またはカーボンターゲットなどの軽金属材料のコーティングには適していません。当社のマグネトロンスパッタリングコーターや熱蒸着コーターをご検討ください。 （詳細は下の写真をクリックしてください）