最大 800°C で最大 5x5 インチの回転ウエハーホルダーを備えた 2 ゾーン CSS 炉 - OTF-1200X-RTP-II-5-R

OTF-1200X-RTP-II-5-R は、内径 11 インチの石英チャンバーと 5 インチ x 5 インチの回転サンプルホルダーを備えた高度な急速熱処理炉です。これは、最大 800°C の動作温度で最大 5 インチの円形または正方形のウエハーサンプルに CSS フィルムコーティング用に設計されています。 10 º C/秒加熱速度。上部サンプルホルダーは回転可能で、均一性の高いコーティングを実現します。 CdTe、硫化物、P など、太陽電池用の新世代薄膜を研究するための優れたツールです。エロブスカイト太陽電池。

仕様:

炉の構造

炉、2 つの温度コントローラー、2 チャンネルのガス流量計が、移動可能なアルミニウム合金フレームに組み込まれています。

チャンバーは、高純度の溶融石英管で作られています。外径11インチ/内径10.8インチ×高さ9インチ。

真空フランジはステンレス鋼 316 製で、電動モーターで持ち上げます。

2 つの 5"x5" IR 加熱プレートと間隔は調整可能です。

上部のサンプルホルダーは、0 ～ 7 RPM の速度で回転可能です。

真空フランジ

1 つの KFD-25 真空ポートと 1 つのガス出口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えたトップフランジは、手動で上下にスライドして、基板と蒸着材料を簡単にロードおよびアンロードできます。

ボトムフランジには、ニードルバルブ付きの 1 つのガス入口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えた 1 つの KFD-25 真空ポートがあります。

フランジは、二重のシリコン O リングで密閉されており、最大 100 mm を達成できます。 10E-2 Torrの真空圧メカニカルポンプと分子ポンプによる10E-5 Torr（真空ポンプは含まれていません。別途ご注文ください）。

デジタル真空計はトップフランジに1個取り付けられています。

精密防食デジタル真空計を標準装備 (2016.03.24以降) .

ヒーターとサンプルホルダー

2 ～ 30 mm の範囲でギャップを手動で調整できる 2 つの独立制御ヒーター。

20個のハロゲンランプが急速熱処理用の発熱体として使用されています。

ヒーターはステンレス製で放熱効果を抑えた水冷ジャケットを採用し、急速冷却が可能です。

直径5インチの円形ウェーハホルダーは、基板を保持するための上部ヒーターに組み込まれています。

熱伝導率の高い AlN プレート (直径 5 インチ x 厚さ 0.5 mm) が 1 セット含まれています (基板の背面に配置して均一に加熱します)。

水源を節約するために、58L/分の循環水チラーが含まれています (詳細な仕様を表示するには、下の写真をクリックしてください)。

上部のサンプルホルダーは、調整可能な速度 0 ～ 7 RPM で回転可能です。

温度調節器

30 セグメントをプログラム可能な 2 つの高精度デジタル温度コントローラーにより、上部ヒーターと下部ヒーターを個別に制御できます。

各コントローラーには、オーバーシュートからヒーターを保護する PID 自動調整機能と、過熱による熱電対の損傷を防ぐアラーム機能があります。

PC通信インターフェース＆以下に示す温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています（詳細は下の画像をクリックしてください）。

作業温度

各ヒーターの最高温度: ≤ 800ºC.

2 つのヒーター間の最大温度差: ≤ 300ºC は、2 つのヒーター間の間隔によって異なります。

間隔 30mm マックス。温度差：315℃＠加熱下のみ

暖房・暖房冷却速度
暖房: < 8℃/s（加熱単体ヒーターのみ）

冷却: < 10℃/秒（600～100℃）

サーマルカップル Kタイプの熱電対は、上下ヒーターに別々に2つ取り付けられています。

使用電圧 208 - 240VAC、単相、50A エアブレーカー

電力要件合計10KW

寸法

(写真をクリックして寸法を表示)

配送重量と重量寸法

2 パレット: 525 ポンドおよび 48インチ x 40インチ x 87インチ、165ポンド、寸法39x31x29インチ。

オプション

真空ポンプは1台必要です。下の左から1枚目の写真をクリックして単品でご注文ください。真空レベルは、メカニカルポンプによって ≤ 10E-2 torr に達することができます。

腐食性ガスを使用する場合はコールドトラップをご使用いただくか、写真2-3の腐食防止ドライポンプを追加料金にてご利用ください。

右下の最初の画像をクリックして、デジタル MFC ガス供給システムを選択できます。

保証生涯サポート付きの1年間限定（石英管や加熱ランプなどの消耗品は保証対象外）。

アプリケーションノート &警告

石英管を使用した管状炉は、真空および低圧で使用するように設計されています。 0.2 バー / 3 psi / 0.02 Mpa。真空圧は、1000°C までしか安全に使用できません。ガスの流量は 1/2 未満に制限する必要があります。チューブへの熱衝撃を軽減するための 200 SCCM (または 200 ml/分)。

あ注意 : 安全な操作のために、圧力を 3 PSI 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器をガスシリンダーに取り付ける必要があります。

この炉のフットスタンドは、平らな面 (くぼみやでこぼこがない) での短距離運搬用に設計されています。

炉の構造	炉、2 つの温度コントローラー、2 チャンネルのガス流量計が、移動可能なアルミニウム合金フレームに組み込まれています。チャンバーは、高純度の溶融石英管で作られています。外径11インチ/内径10.8インチ×高さ9インチ。真空フランジはステンレス鋼 316 製で、電動モーターで持ち上げます。 2 つの 5"x5" IR 加熱プレートと間隔は調整可能です。上部のサンプルホルダーは、0 ～ 7 RPM の速度で回転可能です。
真空フランジ	1 つの KFD-25 真空ポートと 1 つのガス出口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えたトップフランジは、手動で上下にスライドして、基板と蒸着材料を簡単にロードおよびアンロードできます。ボトムフランジには、ニードルバルブ付きの 1 つのガス入口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えた 1 つの KFD-25 真空ポートがあります。フランジは、二重のシリコン O リングで密閉されており、最大 100 mm を達成できます。 10E-2 Torrの真空圧メカニカルポンプと分子ポンプによる10E-5 Torr（真空ポンプは含まれていません。別途ご注文ください）。デジタル真空計はトップフランジに1個取り付けられています。精密防食デジタル真空計を標準装備 (2016.03.24以降) .
ヒーターとサンプルホルダー	2 ～ 30 mm の範囲でギャップを手動で調整できる 2 つの独立制御ヒーター。 20個のハロゲンランプが急速熱処理用の発熱体として使用されています。ヒーターはステンレス製で放熱効果を抑えた水冷ジャケットを採用し、急速冷却が可能です。直径5インチの円形ウェーハホルダーは、基板を保持するための上部ヒーターに組み込まれています。熱伝導率の高い AlN プレート (直径 5 インチ x 厚さ 0.5 mm) が 1 セット含まれています (基板の背面に配置して均一に加熱します)。水源を節約するために、58L/分の循環水チラーが含まれています (詳細な仕様を表示するには、下の写真をクリックしてください)。上部のサンプルホルダーは、調整可能な速度 0 ～ 7 RPM で回転可能です。
温度調節器	30 セグメントをプログラム可能な 2 つの高精度デジタル温度コントローラーにより、上部ヒーターと下部ヒーターを個別に制御できます。各コントローラーには、オーバーシュートからヒーターを保護する PID 自動調整機能と、過熱による熱電対の損傷を防ぐアラーム機能があります。 PC通信インターフェース＆以下に示す温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています（詳細は下の画像をクリックしてください）。
作業温度	各ヒーターの最高温度: ≤ 800ºC. 2 つのヒーター間の最大温度差: ≤ 300ºC は、2 つのヒーター間の間隔によって異なります。間隔 30mm マックス。温度差：315℃＠加熱下のみ
暖房・暖房冷却速度	暖房: < 8℃/s（加熱単体ヒーターのみ）冷却: < 10℃/秒（600～100℃）
サーマルカップル	Kタイプの熱電対は、上下ヒーターに別々に2つ取り付けられています。
使用電圧	208 - 240VAC、単相、50A エアブレーカー
電力要件	合計10KW
寸法	(写真をクリックして寸法を表示)
配送重量と重量寸法	2 パレット: 525 ポンドおよび 48インチ x 40インチ x 87インチ、165ポンド、寸法39x31x29インチ。
オプション	真空ポンプは1台必要です。下の左から1枚目の写真をクリックして単品でご注文ください。真空レベルは、メカニカルポンプによって ≤ 10E-2 torr に達することができます。腐食性ガスを使用する場合はコールドトラップをご使用いただくか、写真2-3の腐食防止ドライポンプを追加料金にてご利用ください。右下の最初の画像をクリックして、デジタル MFC ガス供給システムを選択できます。
保証	生涯サポート付きの1年間限定（石英管や加熱ランプなどの消耗品は保証対象外）。
アプリケーションノート &警告	石英管を使用した管状炉は、真空および低圧で使用するように設計されています。 0.2 バー / 3 psi / 0.02 Mpa。真空圧は、1000°C までしか安全に使用できません。ガスの流量は 1/2 未満に制限する必要があります。チューブへの熱衝撃を軽減するための 200 SCCM (または 200 ml/分)。あ注意 : 安全な操作のために、圧力を 3 PSI 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器をガスシリンダーに取り付ける必要があります。この炉のフットスタンドは、平らな面 (くぼみやでこぼこがない) での短距離運搬用に設計されています。