1.ガスはシリンダーから流れ出し、減圧弁を通り、テフロンパイプを通ってガス供給システムの入口に流れ、次にプロトン流量計を通ってガスの流れを制御し、次に空気混合タンクを通って流れます。炉の空気入口。ガスは、三方弁を通って空気出口パイプから流出し、一方の端は真空ポンプに接続され、もう一方の端は空気出口に接続されます。

2. 空気混合タンクには圧力計が接続されており、圧力計の表示パネルとプロトン流量計が同一パネルに設置されています。

3.各ガスパイプラインには、安全を確保するための高圧ストップバルブがあります。

4.ガス経路は高精度ガス回転計を採用し、内部ガス経路は耐食性に優れたテフロンチューブを採用しています。

5.すべてのジョイントはフェルールで接続されており、気密性と耐圧性に優れています。

6.機器構成：マルチチャンネル吸気パイプライン、陽子流量計、空気混合タンク、排気パイプライン

特徴

1.いくつかの吸気チャネルは、顧客、標準インターフェース、便利な接続によってカスタマイズされています

2.液晶タッチスクリーンは、各チャネルのガスフローを制御および入力し、各チャネルのガスフロー曲線をリアルタイムで表示します

3.各ガス経路には、ガス経路を遮断するのに便利な高圧ストップバルブが装備されています

仕様