構造

・ 安定した回転を維持するアルミニウム鋳造ケース

・ 排水口と真空ポンプコネクタは背面パネルにあります

・ 1つのフィルターが標準パッケージに含まれています。排水がポンプに流れ込むのを防ぐために、ポンプとコーターを接続するために使用されます

・ 1つのオイルレスポンプは 私を含む n標準パッケージ。

チャンバー＆amp;真空チャック

・ チャンバーの直径は250 mmで、最大直径8インチまたは5インチx 5インチのウェーハを受け入れる

・ 回転チャンバーは、腐食耐性のあるppで作られています

・ 6 "および8"ウェーハを保持するために、1つの6 "真空チャックおよびチャックOリングが含まれています

・ 不規則な形状の基板またはウェーハのサイズが＆lt; 6

回転速度

・ 異なるスピン時間と速度の2つのプログラム可能なセグメントを備えたデジタル制御パネル

・ 各セグメントで500〜6000 rpmの調整可能な回転速度

液体注入

・ 20mlの注射器がコーティング材料を含むのに使用されています

・ シリンジホルダーの高さは、サポートロッドに沿って自由に調整および回転できます

オプショナル

・ 正確な電子シングルチャンネルピペットを選択できます：より正確なコーティングのために20-200ul

・ コーティング前に基材表面を処理するためにプラズマクリーナーを使用すると、フィルムの品質を向上させる

・ あなたは私たちの新製品を検討することができます：加熱可能な注射器

・ DIY真空フラッシュアシストソリューションプロセス（vasp）用の真空フラッシュアセンブリ、最大5 mtorrが利用可能

・ 最大100°cのデジタル温度コントローラー付き加熱カバー （最大継続時間＆lt; 1分） 追加費用（2495ドル）で利用でき、コーティング中およびコーティング後にその場でサンプルを乾燥させることができます。

入力電力

・ ac 110v / 220v選択可能

・ vtc-200スピンコーターの右側に電源ソケットが組み込まれています。真空ポンプに電力を供給するために使用されます。この電源の出力電圧は、スピンコーターの主回路の入力電圧に依存します。 （例えば、スピンコーターがAC 110V電源ソケットに接続されている場合、内蔵電源ソケットはAC 110Vを供給します）

モーターのパワー

90vdc、150w

製品寸法

500mm（l）x 400mm（d）x 400mm（h）

正味重量

20 kg（44ポンド）

コンプライアンス

・ CE認定

保証

・ 生涯サポートで1年間に制限

・ 不適切な保管条件やメンテナンスによる錆や損傷は保証の対象外です