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製品
Slliding Furnace

真空下でスライド可能なサンプルホルダーを備えた2ゾーンIR加熱RTPチューブ炉(4 '' id)

  • Model Number:

    TMAX-1200X-IR-IISL
  • :

    Xiamen
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  • Delivery Time:

    5 days
製品の詳細

真空下でスライド可能なサンプルホルダーを備えた2ゾーンIR加熱RTPチューブ炉(4 '' id)


tmax-1200x-ir-iisl 加熱されたデュアルゾーンです 内径4インチの石英チューブとスライド可能なサンプルホルダーを備えたrtpチューブ炉 格納式ベローズ真空内にあります ベローズ。 それはできる 最大を達成します。加熱速度> 50°c / sおよび冷却 レート> 10°c / s。炉は二次元成長用に設計されています 1つの加熱ゾーンが固体蒸発源として使用されるhpcvdを介した材料 サンプルの堆積のための別のゾーン。

仕様書

炉の特徴


  • 二層鋼        空冷式のケーシングにより、炉の表面温度が        60°C。
  • 短波IRで加熱        断食加熱用チューブランプ
  • 2つの加熱ゾーン、195        各mm、hpcvdの長さは合計390 mm
  • サンプルホルダーは        内側の格納式ベローズでスライド可能で、高速を実現できます        真空または制御された雰囲気下での加熱または冷却
  • 真空フランジ        デジタル真空計はすぐにインストールされます        使用する。

電圧

  • ac 208-240v、3        位相、50/60 Hz
  • 24キロワット

発熱体

  • 16個1.5 kwハロゲン        ライトチューブ(直径= 10mm、l = 390mm)
  • 標準的なワーキングライフ:        2000時間(加熱速度に依存)
  • ハロゲン        ライトチューブは消耗品です。左の写真をクリックして注文してください        予備の。

最大温度

  • 1100°c(< 30        分)
  • 1000°c(連続          )

温度精度

  • + /-1°c

最大加熱速度

  • 50ºc/ s

最大冷却速度

  • 10°c /秒        最大1000〜200cからの冷却速度:

プロセスチューブサイズ

  • 融合した高純度        石英管
  • Φ110 od ×Φ106 id ×740 l 、 んん

スライドレール

  • デュアルスライドレール製        クロムメッキ鋼
  • スライドレールの長さ:        400ミリメートル

熱電対

  • 2 kタイプ、1/4 "        直径x 24 "長さ

温度調節器

  • 二温度        scrを介して2つのゾーンを個別に制御するために含まれるコントローラー
  • PID自動制御        加熱速度を正確に制御するための30のプログラム可能なセグメント        冷却速度と滞留時間。
  • ビルトイン過熱        &熱電対破損保護。
  • 以上        温度保護とアラームが可能        アテンダントなしの操作。
  • +/- 1ºcの温度        正確さ。
  • rs485通信        港。
  • PC制御:
    • mts-02 制御モジュール 含まれています         この炉のPC制御。
    • pcの新しいバージョン         モジュールはラボビューと互換性があります05/08/2014
    • ラップトップPCは         炉と一緒に500ドルで注文しました。注文することをお勧めします         ソフトウェアのインストールの問題を回避するためのコンピューター(ラップトップ)         以前にインストールとテストを実行するため         運送。

真空フランジ

  • ステンレス鋼クイック        真空フランジがチューブの両端に取り付けられているため、簡単に        組み立てる
  • 1/4 "直径フィードスルー        k型熱電対を挿入するための左フランジ
  • デジタル真空計は        含まれる
  • kf25直角バルブ        真空ポンプに接続するためにインストールされています
  • 真空用ニードルバルブ        リリースが含まれています
  • 格納式        ベローズは左フランジに取り付けられており、サンプルを保持できます        制御された真空または大気下での低温への滑り

真空レベル

  • 真空による制限        ポンプ
    • 10 ^ -2 torrは         機械式ポンプにより達成
    • 10 ^ -4 torrは         分子ポンプで到達
  • ポンプはありません        含まれています。

水冷(オプション)

  • 冷却水は        必須。
  • 確認してください        冷却水の流量は≥10l / min、水温です。 <        25ºc;圧力> 25 psi
  • を使用することをお勧めします        eq-kj5000シリーズ 再循環水        チラー 冷却システムとして(ください        以下の関連製品で別途注文してください)。
  • 警告:このrtp        炉の最大滞留時間は、600秒未満        水道水で1000ºC〜1100ºC、さもないと、Oリングが溶けることがあります。

寸法

  • 1000mm×540mm×800mm

正味重量

〜180キロ

積み込み重量

500ポンド

保証

2年間のメーカー限定   保証(処理チューブ、Oリング、加熱などの消耗部品   要素は保証の対象外です。注文してください   以下の関連製品の代替品)。

ラップトップ、ソフトウェア、無線LAN制御(オプション)

  • ブランドの新しいノートパソコン        Microsoft Windows 10およびMicrosoft Office 2013(30日間の無料試用)        すぐに使用。
  • labviewベース        温度制御システム ユーザーが編集できるようにします        温度プロファイル、熱処理レシピの管理、データの記録とプロット        mti炉用。
  • ワイヤレスリモコン        制御は最大300メートルの動作範囲を提供します。
  • 上記の機能は        リクエストに応じて追加料金で利用できます(最大1,000ドル)。お問い合わせください        詳細についてはお問い合わせください。
  • 注意:
    ソフトウェアはmtiのみと互換性があります        ユディアン温度調節器

コンプライアンス

  • CE認定
  • すべての電気部品        (> 24v)ul / met / csa認定済み

  • 炉の準備ができています        追加料金でtuv(ul61010)またはcsaの認定をパスします。

アプリケーションノート

  • 管状炉        石英管は、真空および低圧で使用するために設計されています<        0.12 mpa(絶対圧)。
  • 注意:2段階        圧力調整器をガスボンベに取り付けて、        安全な操作のために3 psi未満の圧力。 の流量        ガスは< 200 sccm(または200 ml / min)        チューブへの熱衝撃を低減
  • 真空限界の定義        すべての石英管炉:*真空圧は安全にのみ使用できます        1000°cまで
  • ここをクリックして        mti用の石英/セラミックチューブと真空フランジのセットアップ方法を学ぶ        チューブ炉。
  • 石英管は        最高のパフォーマンスを確保するために、10回使用するたびに交換されます。
  • サンプルは決して        チューブに直接配置。
  • cvdの後、グラフェン        金属触媒から別の基質に移さなければならない        ほとんどのアプリケーション。を使用して グラフェン転写テープ 、残渣は        低い。

Two Zone RTP Tube Furnace


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