炉の特徴

• 1つの高熱伝導率アルミナ        平らなサンプルホルダー（2 "lx1" w）はkタイプに固定されています        サンプル、サンプルホルダーとの熱電対は移動可能         磁石によって手動で駆動される石英管の内部に望ましいものを見つける        蒸発または堆積のためのチューブ内の温度位置。
• ワンニスト認定の精度        温度モニター は        上のフィードスルーを介して熱電対とサンプルホルダーに接続        真空フランジ。
• 1つの磁石が内部に埋め込まれています        熱ブロック、および別の磁石がチューブの外側に配置されます。移動する        外側の磁石は、内側の熱カップルでサンプルホルダーを動かすことができます        チューブの出し入れ
• 30セグメントのプログラム可能な温度        コントローラーは最大でセットアップするために炉に組み込まれています。ワーキング        炉の中心で最大1200℃の温度
• 小さな石英るつぼ 含まれており、使用可能        蒸着材料を含むか、堆積のためにウェーハを上部に置いてください        アプリケーションに基づいて。

炉力

• 110vacまたは208-240vac、50 / 60hz （ご確認ください        注文時の電圧）
• 1.5キロワット

最大温度

1200°C （＆lt; 1   時間）

連続温度

1100°C （   連続）

最大加熱速度

＆lt; = 20 °c /分

加熱ゾーン

• 加熱ゾーンの長さ：8 "        （200mm）、単一ゾーン。次の図は、温度を示しています。分布        加熱ゾーン全体で、クリックして拡大してください。
• 一定温度ゾーン：         2.3 "（60mm）（+/- 1°c）@ 1000°c
• 炉の温度を測定します        フィルムの成長を行う前に、独自のアプリケーションのプロファイルを作成します。

温度調節器

• pid        プログラム可能な30ステップのソリッドステートリレーによる自動制御
• 建てた        過熱および熱電対故障保護
• オプション： その        炉は、インストールすることで、PCで操作することができます 制御モジュール 。注文してください mts02-bコントロール        追加料金でモジュール。

温度精度

+/- 1°c

発熱体

moをドープしたfe-cr-al合金

チューブサイズ

• 2 "        石英管 （50mm外径x        44mm i.d x 1000mm l）
• 2つの繊維状セラミックチューブブロックは        チューブチャンバーからの熱放射をブロックするために含まれています。 （セラミック        加熱前にブロックを炉室に完全に挿入する必要があります）
• 1つの小さなクォーツボートは        サンプルまたは蒸発材料を配置するために含まれています。

真空フランジ

2 "デフォルトフランジ   1/4 ''バード継手、1/4 ''チューブフィードスルーポート（1/4 "内径用   熱電対インサート）およびkf25真空ポート （ 詳細を見るには下の画像をクリックしてください）

真空レベル

10 ^-2 トル （沿って   機械式ポンプ）

フィッティングポート
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オプションパーツ

• あなたが必要な場合があります 真空バルブ        真空ポートの端（左の写真をクリックして注文します）
• あなたは注文することを検討するかもしれません クイック接続フランジ で        追加費用。

• 注文できます        dvdまたはcvd操作用のマルチチャネルガス供給システム。

寸法

蓋を閉じた状態：1055mm（l）×300mm（w）×400mm（h）
蓋を開けた状態：1055mm（l）×300mm（w）×560mm（h）

正味重量

22キロ

運送 パッケージ サイズ

48 ''（l）x 24 ''（w）x 28 ''（h）

積み込み重量

120ポンド

保証

リフト時間サポート付き1年間限定保証（消耗品   処理管やOリングなどの部品は、   保証。

ラップトップ、ソフトウェア、無線LAN制御（オプション）

• ブランド        マイクロソフトウィンドウ10およびマイクロソフトオフィス2013（30日間の新しいノートパソコン        無料トライアル）すぐに使用できます。
• labview        ベースの温度制御システム 可能にする        温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、記録        mti炉のデータをプロットします。
• a        ワイヤレスリモートコントロールは、最大300メートルの動作範囲を提供します。
• 上        リクエストに応じて機能を追加料金で利用できます（最大1,000ドル）。        詳細についてはお問い合わせください。

コンプライアンス

アプリケーションノート