かまど

構造

コンパクト   4インチRTPチューブ炉 （ 二層鋼ケース   ムライトライナー）

暖房   素子

8   個ハロゲンライトチューブ（d = 10 l = 300 t = 200、mm）

ワーキング   臨時

1100°c   最大（ このrtp炉の最大保持時間   1000ºc〜1100ºcで600秒未満、そうでない場合はOリングが   溶ける ）

最大   加熱速度

50°c /秒

最大   冷却速度

64°c /分   （真空下：200 mtorr）、117°c / min（大気圧下）

暖房   ゾーン

12 "   +/- 1°cの均一性内の4 "一定温度ゾーンを持つ長さ

プログラム   臨時コントローラ

石英   チューブ＆amp;サンプルホルダー

• 石英管サイズ：4.33 "o.d x        4.05 "i.d x 16.2 "        長さ
• 3 "        直径のサンプルホルダーはから成っている滑走のフランジに挿入されます        石英
• 1        直径3インチのalnウェーハをホルダーの中央に配置して、        直径3インチまでのアニーリングサンプル。
• アルン        非常に高い熱伝導率を持ち、最高の温度を提供します        サンプル領域の均一性
• その        サンプルホルダーはフランジから取り外し可能

真空   フランジ

kf-d25   高真空フランジはダブルハイテンプのステンレススチール製です。シリコーン   Oリング、ニードルバルブ。
スライドフランジは、サンプルを簡単に装填できる方法です。 3 "クォーツサンプル   正確な測定のためのholder.insert-able熱電対。

水   冷却ジャケット

• 冷却水が必要です。
• の流量を確認してください        冷却水は≥10l / min、水温です。 ＆lt; 25ºc;圧力＆gt; 25        psi
• eq-kj5000シリーズの使用をお勧めします 再循環水チラー として        冷却システム（関連製品で別途注文してください        下）水を節約します。

警告：このrtp   炉の最大滞留時間は、1000ºc〜1100ºcで600秒未満   水道水を使用すると、Oリングが溶けることがあります。再循環水を使用して   チラー、この保持時間は1200秒まで延長できます。

フロー   メーター

1   流量計は前面パネルに取り付けられており、ガスの流れを0〜160に調整します。   ml /分

パワー   入力

208-240   AC、50/60 Hz単相、最大9 kw （＆gt; 60aのブレーカーが必要です）

hv   駅
高真空ステーション

構造

• モバイル        カートサイズ：600（l）x 600（w）x 700（w）、mm
• 最大        積載量：上部に600ポンド
• 分子の        ポンプコントロールパネル：液晶デジタル
• ダイアフラムポンプ そして ターボ分子ポンプ は        スチールケース内に設置。

真空   程度

6.3e-5   mbar（40分で4インチのrtpチューブ炉を使用）

コントロール   パネル

• ワンボタン操作 -ダイアフラムポンプ        ターボ分子ポンプは「開始」を押すと起動します        ボタン。
• システム制御の回転速度 -コントローラーは        に従ってタービンの回転速度を制御します        反応チャンバーの真空レベルと漏れ速度。
• 自己防衛 -システムは        過熱による損傷からポンプを保護し、        反応室の漏れ速度が高すぎて高真空を達成できません。

• 液晶画面 -二重線        パラメータチェックインターフェース 作る        作業が簡単に処理されます。

起動   時間

2   数分

バッキング   10 mbarでのポンプ体積流量

3.8   50hzのl / minおよび60hzの4.4 l / min

パワー   入力

110v   ACまたは220V AC切り替え可能、50 / 60hz

パワー   消費

期間/最大   出力：100/110ワット

運送   情報

重量   と寸法

rtp   炉：110ポンド、760 x 330 x 530mm（30 "x 13" x 21 "   インチ）l x w x h
HVステーション：40 lbs、600 x 600 x 700mm（24 "x 24" x 28 "）   l x w x h

保証

ラップトップ、   ソフトウェア＆amp; wifiコントロール（オプション）

コンプライアンス

• ce        認証済み
• その        炉はul 61010、iec 61010、nrtlsによってテストされたspe-1000に合格する準備ができています        追加料金で。見積もりと詳細情報についてはお問い合わせください。
• 温度        コントローラが満たされ、CE認定
• 高い        真空ステーションはtuv認定済み