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製品
PECVD Furnace

RFジェネレーター、ガスミックスおよびポンプシステムを備えた1200°C垂直pecvd炉

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • お支払い:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
製品の詳細

1200°C垂直pecvd炉、rfジェネレーター、ガスミックス&ポンプシステム

tmax-1200-pecvd シリーズ化学 蒸着(cvd)およびプラズマ化学蒸着 (pecvd)マルチゾーン分割チューブ炉は、有名な カンタル ®(スウェーデン)ワイヤー 高品質に埋め込まれた発熱体 三菱 ®(日本)アルミナ 繊維断熱材。すべてのスチール製二重層ハウジングにより耐久性が確保され、 外面への熱損失を最小限に抑えます。


炉操作は によって制御される しまでん ®(日本) 組み込みのrs485デジタル通信ポートを備えた40セグメントデジタルコントローラー ユーザーがリモート制御のためにPCに接続できるようにするUSB​​アダプター 炉の監視。テスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。
私たちのすべての炉はCEです 準拠しています。

特徴

コンパクト、ポータブル、 軽量設計。

下処理 従来のcvdsと比較して必要な温度。

膜応力は 高/低周波数混合技術により制御されます。

分割炉室 迅速で簡単なチューブアクセス。

標準パッケージに含まれるもの バルブおよび圧力計付きのステンレス鋼製真空シーリングフランジのセット。

マイクロプロセッサベース 自己調整pid制御により、最小限の最適な熱プロセスを提供 オーバーシュート。

複数の雰囲気 単一サイクルでのプロセスが可能です(例:バインダーは空気や部品で燃え尽きます 粗真空または不活性ガス環境下での焼結。)

内蔵アンプメーターと 簡単な監視とトラブルシューティングのためのデュアル電圧計。

内蔵コンピューター インターフェース。

長寿命タイプk 熱電対。

スライド式炉オプション 超高速の冷却速度を実現

安全性

過熱保護シャット 温度が許容範囲外の場合は炉を下る(参照 コントローラーのマニュアル)または熱電対が破損または誤動作した場合。

停電保護 電力が供給されると、故障点の直後に炉の運転を再開します 再確立されました。

警告!火薬を爆発物で満たさない 水素、一酸化炭素、メタンなどのガス。


炉、真空ポンプ およびガス混合システムの仕様

チューブ素材

石英

発熱体

カンタル ®(スウェーデン)   抵抗コイル線

最大対定数   使用温度

1200°c以下そして   1100°c定数

熱電対   タイプ

k

耐火ライニング

三菱 ®(日本)   1500グレードファイバーアルミナ

温度   コントローラ

しまでん ®(日本)   4つのプログラムと40のセグメントを備えたfp93
(つまり、4 x 10セグメントまたは2 x 20セグメント)

最大加熱   &冷却速度

< 30°C /分

温度   コントローラー精度

+/- 1°c(+/-   1.8°f)

真空シール   フランジキット

ステンレス鋼   1つの真空計を備えた真空シールフランジ、
2つのバルブと4つのサーマルセラミックブロック。

電気的   要件

220vac、3.5kw、   単相

RFジェネレーターの仕様

電気的   要件

208-240ボルト   50/60 Hz

出力電力

5〜500ワット、   +/- 1%ステップで調整可能

RF周波数

13.56 MHzで   +/- 0.005%の安定性

反射力

最大10ワット

マッチング

自動

rf出力ポート

50Ω、nタイプ、   女性

冷却

空気

部品の説明

パーツ画像

スプリットチューブ炉

1セット

マルチチャンネルガス   供給システム

1セット

プラズマrfパワー   供給(オプション)

1セット

真空ポンプと   エンクロージャー(オプション)

1セット

石英管

1個

テフロンチューブ(n   チューブ数の略)

n * 5

ステンレス鋼   真空計フランジと圧力計

1セット

ステンレス鋼   針

1個

アルミナセラミック   サーマルブロック

2ペア

サーマルグローブ

1ペア

高温   アル 2 o 3 アルミナ   坩堝

5個

スペアヒューズ

2個

usb / rs485コンピューター   インターフェースキット

1セット

炉と   シマデンコントローラーマニュアル

2個

PECVD Furnace


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