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RFジェネレーター、ガスミックスおよびポンプシステムを備えた1200°C垂直pecvd炉
Model Number:
TMAX-VerticalPECVDお支払い:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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1200°C垂直pecvd炉、rfジェネレーター、ガスミックス&ポンプシステム
tmax-1200-pecvd シリーズ化学 蒸着(cvd)およびプラズマ化学蒸着 (pecvd)マルチゾーン分割チューブ炉は、有名な カンタル ®(スウェーデン)ワイヤー 高品質に埋め込まれた発熱体 三菱 ®(日本)アルミナ 繊維断熱材。すべてのスチール製二重層ハウジングにより耐久性が確保され、 外面への熱損失を最小限に抑えます。
炉操作は によって制御される しまでん ®(日本) 組み込みのrs485デジタル通信ポートを備えた40セグメントデジタルコントローラー ユーザーがリモート制御のためにPCに接続できるようにするUSBアダプター 炉の監視。テスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。
私たちのすべての炉はCEです 準拠しています。
特徴
・ コンパクト、ポータブル、 軽量設計。
・ 下処理 従来のcvdsと比較して必要な温度。
・ 膜応力は 高/低周波数混合技術により制御されます。
・ 分割炉室 迅速で簡単なチューブアクセス。
・ 標準パッケージに含まれるもの バルブおよび圧力計付きのステンレス鋼製真空シーリングフランジのセット。
・ マイクロプロセッサベース 自己調整pid制御により、最小限の最適な熱プロセスを提供 オーバーシュート。
・ 複数の雰囲気 単一サイクルでのプロセスが可能です(例:バインダーは空気や部品で燃え尽きます 粗真空または不活性ガス環境下での焼結。)
・ 内蔵アンプメーターと 簡単な監視とトラブルシューティングのためのデュアル電圧計。
・ 内蔵コンピューター インターフェース。
・ 長寿命タイプk 熱電対。
・ スライド式炉オプション 超高速の冷却速度を実現
安全性
・ 過熱保護シャット 温度が許容範囲外の場合は炉を下る(参照 コントローラーのマニュアル)または熱電対が破損または誤動作した場合。
・ 停電保護 電力が供給されると、故障点の直後に炉の運転を再開します 再確立されました。
警告!火薬を爆発物で満たさない 水素、一酸化炭素、メタンなどのガス。
炉、真空ポンプ およびガス混合システムの仕様
チューブ素材 |
石英 |
発熱体 |
カンタル ®(スウェーデン) 抵抗コイル線 |
最大対定数 使用温度 |
1200°c以下そして 1100°c定数 |
熱電対 タイプ |
k |
耐火ライニング |
三菱 ®(日本) 1500グレードファイバーアルミナ |
温度 コントローラ |
しまでん ®(日本) 4つのプログラムと40のセグメントを備えたfp93 |
最大加熱 &冷却速度 |
< 30°C /分 |
温度 コントローラー精度 |
+/- 1°c(+/- 1.8°f) |
真空シール フランジキット |
ステンレス鋼 1つの真空計を備えた真空シールフランジ、 |
電気的 要件 |
220vac、3.5kw、 単相 |
RFジェネレーターの仕様
電気的 要件 |
208-240ボルト 50/60 Hz |
出力電力 |
5〜500ワット、 +/- 1%ステップで調整可能 |
RF周波数 |
13.56 MHzで +/- 0.005%の安定性 |
反射力 |
最大10ワット |
マッチング |
自動 |
rf出力ポート |
50Ω、nタイプ、 女性 |
冷却 |
空気 |
部品の説明 |
量 |
パーツ画像 |
スプリットチューブ炉 |
1セット |
|
マルチチャンネルガス 供給システム |
1セット |
|
プラズマrfパワー 供給(オプション) |
1セット |
|
真空ポンプと エンクロージャー(オプション) |
1セット |
|
石英管 |
1個 |
|
テフロンチューブ(n チューブ数の略) |
n * 5 |
|
ステンレス鋼 真空計フランジと圧力計 |
1セット |
|
ステンレス鋼 針 |
1個 |
|
アルミナセラミック サーマルブロック |
2ペア |
|
サーマルグローブ |
1ペア |
|
高温 アル 2 o 3 アルミナ 坩堝 |
5個 |
|
スペアヒューズ |
2個 |
|
usb / rs485コンピューター インターフェースキット |
1セット |
|
炉と シマデンコントローラーマニュアル |
2個 |
|
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