入力電力

• 単相AC220V 50/60Hz
• 700W（真空ポンプ含む）
• 110 VAC を使用する場合は、変圧器を同梱します。製品オプションで電圧を選択してください

出力電力

• DC1600V
• 最大40mA

真空室

• 真空チャンバー:​​ 150 mm ID x 165 mm OD x 150 mm H、高純度石英製
• フラット O リング付きのステンレス鋼製シール フランジ

ヒーター付きサンプルステージ

• ステージサイズ：φ50mm
• スパッタリング距離範囲: 25 – 40 mm 調整可能
• 3 つのスパッタリング位置を備えた回転ステージ (タッチスクリーンで制御)
• 基板ヒーター 内蔵で最高加熱温度500℃
• +/- 1 °C の精度を持つ PID 温度コントローラーがタッチスクリーンに統合されています。

コントロールパネル

• 簡単な操作のための PLC 統合を備えた 6 インチ カラー タッチ スクリーン
• 真空計、スパッタ電流計、基板温度制御をタッチパネルに一体化
• フロントパネルのガス吸入とスパッタリング電流制御用の調整ノブ
• タッチスクリーンからスパッタリング位置、スパッタリングタイマー、プロセスログにアクセス可能

シールド

• ステンレス鋼 シールドケージ 特別な保護のために含まれています

スパッタリングターゲット

• ターゲット サイズの要件: 直径 47 mm。 ×2.5mm以下
• 標準パッケージには、すぐに使用できる 3 つのターゲットが含まれています。
• Auターゲット 、直径47mm。 ×0.12mm
• Ag ターゲット 、直径47mm。 ×0.5mm
• Cuターゲット 、直径47mm。 ×2.5mm
• さまざまなターゲット MTIで注文できます

真空ポンプ
(オプション)

• 真空ポンプ接続用のKF25真空ポートを内蔵。
• KF25 コネクタ付きの真空ポンプが必要ですが、含まれていません。ユーザーが選択可能
• あ 二段式機械式真空ポンプ 1.0E-2 Torrまでの真空用。
• または ターボポンプ 1.0E-5 Torrまでの真空用
• コーター左側の電源コンセントに真空ポンプを差し込んで自動制御可能
• 

寸法

• 縦440mm×横330mm×高さ455mm

正味重量

• 50キロ

コンプライアンス

• CE承認
• MET 認証 (UL 1450) は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。見積もりについては、当社の営業担当者にお問い合わせください。

保証

• 生涯サポート付きの1年間限定

アプリケーションノート

• フィルムと基材の接着強度を最大限に高めるには、コーティングの前に基材表面をきれいにしてください。
• 次の連続浴による超音波洗浄 - (1) アセトン、(2) イソプロピル アルコール - 油とグリースを除去します。 N2 で基板をブロー乾燥し、真空中でホットベークして吸収した水分を除去します。
• 表面の粗面化、表面の化学結合の活性化、または追加の汚染除去のために、プラズマ洗浄が必要になる場合があります
• Cr、Ti、Mo、Ta などの薄いバッファ層 (~5 nm) を適用して、金属や合金の接着性を向上させることができます。

• 安全に使用するために、ガスの出力圧力を 0.02 MPa 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器 (付属していません) をガスシリンダーに取り付ける必要があります。 ＞をご利用ください。プラズマスパッタリング用5N純度Arガス
• スパッタリング コーターは、コーティング用の Ar および N2 ガス グローブ ボックスに配置できます。
• 高電圧！スパッタリングヘッドは高電圧に接続します。安全のため、オペレータはサンプルのロードおよびターゲットの変更操作の前に装置をシャットダウンする必要があります
• このモデルは、エネルギーが低いため、Al、Mg、Zn、Ni などの軽金属材料のコーティングには適していません。当社のマグネトロンスパッタリングコーターや熱蒸着コーターをご検討ください。詳細は下の写真をクリック