精度の高い 4 つのソースの熱蒸着システム

温度調節器

GSL-1700X-EV4 は、合計 4 つの蒸発源ルツボと精密でプログラム可能な温度制御を備えたコンパクトな加熱蒸発システムです。 4つの蒸発るつぼを使用して、複数の異なる材料を堆積させ、同じチャンバー雰囲気で多層膜を1つずつ成長させることができます。このシステムは、200 ºC ～ 1500 ºC (またはオプションの B タイプ熱電対を使用すると 200 ºC ～ 1700 ºC) で、最大 2 インチ サイズのほとんどの金属および有機材料フィルムのコーティングに適しています。

仕様:

構造と構造特徴	外径280mm ×内径260mm x 310 mm 高さの石英チャンバーにより、クリーニングとサンプルのロードが容易 均一なフィルムコーティングのための直径2インチの回転可能な蒸発源 1700 ºC までの高温コーティング用のタングステン コイル ヒーターとアルミナるつぼ 30 のプログラム可能なセグメントと +/- 1 ºC の精度を備えた精密な温度制御 オプションのターボポンプにより1.0E-5Torrまでの高真空を実現 チャンバーパージとCVDの可能性のためにガスフローポートとバルブが組み込まれています
入力電力	入力電圧: AC 208 - 240 V 50/60 Hz、単相 (110V AC は 1500W トランス経由で利用可能) 入力電力：1,200W 出力電力:: 12 V、最大電流 30 A。推奨使用電流 <30 A プラグなしの電源ケーブル付属
温度管理と温度管理ヒーター	各容量 3 mL の 4 つのアルミナ蒸発るつぼ。 4 つのソースを同時に使用することはできません。多層の堆積は、1 つずつ行われます。 アルミナ坩堝の底に熱電対付きのタングステンコイルヒーターが内蔵されています（温度調節用（写真1）。寸法は左図をご参照ください）。 標準 S タイプ熱電対 (同梱および設置済み) - 200 ºC ～ 1500 ºC の加熱 (PIC. 2) オプションの B タイプ熱電対 (追加料金) - 1200 ºC ～ 1700 ºC の加熱 30 のプログラム可能なセグメントと +/- 1 ºC の精度を備えた 1 つのデジタル温度コントローラー (PIC. 3) 温度コントローラーの時間設定は秒単位です。温度加熱/冷却速度を 1200 ºC 未満では 0.3 ºC/s (または 20 ºC/分) に制限し、1200 ～ 1700 ºC では 0.15 ºC/秒 (または 10 ºC/分) に制限することをお勧めします。 1300 ºC を超える連続加熱の場合は、操作時間を 1 時間未満に制限して、下部フランジ O リングの耐用年数を維持してください。 カーボン コーティングで必要とされる 2000 °C までの高速コーティングでは、ユーザーは熱電対、アルミナ サーマル ブロック、アルミナるつぼを取り外し、蒸発材料をタングステン コイル ヒーターに直接ロードし、現在の手動制御モードを使用できます (写真 4)。 ) 4 つのアルミナるつぼ (最高 1700 ºC) と 2 つのタングステン コイル ヒーターが含まれています。スペアパーツの注文については、オプションのセクションを参照してください
回転式サンプルホルダー	50mm径1本回転可能なサンプルステージとそのシャッターはトップフランジに取り付けられています。 回転数：5rpm サンプルホルダーから蒸発源までの距離は40mmから85mmまで調整可能
膜厚分析装置（オプション）	精密薄膜・コーティング分析システム - EQ-TFMS-LD は追加料金で利用できます。
真空	KF25 真空ポートは、真空ポンプに接続するために取り付けられています。 オプションのターボ分子ポンプを使用して一晩排気することにより、最高真空度が <1E-5 Torr に達する場合があります コーティングには真空ポンプが必要です。次の製品オプションから選択してください 金、銀、有機材料などの貴金属材料を蒸発させるために、最大 1.0E-2 Torr の真空に達することができるオイル ミストを排除するためのベーパー トラップを備えた 2 段ロータリー ベーン真空ポンプ。
ガス入口	チャンバーパージやフォーミングガス処理用に1/4チューブフィッティングを内蔵 ガス流量を制御するニードルバルブを1個内蔵
オプション	追加のアルミナるつぼとタングステン コイル ヒーターは、TMAX で追加料金で注文できます。
全体寸法
石英チャンバー寸法	外径：280mm（11インチ） 内径: 260mm (10.2インチ)。 長さ: 310mm (12.2インチ)。
コンプライアンス	CE証明書
保証	ライフタイム サポート付きの 1 年間限定保証
正味重量	80kg
配送重量と重量寸法	200ポンド、40インチ×30インチ×32インチ。
アプリケーションノート	一部の材料の蒸発に必要な高真空を達成するために、ユーザーは次のことができます。 チャンバー、O リング、およびフランジに粒子、繊維、または傷がないかどうかを確認します。イソプロピル アルコール (IPA) で湿らせた糸くずの出ないティッシュを使用して、表面をきれいに拭きます オプションのターボポンプで少なくとも 2 時間ポンピングしながら、ヒーター テープを使用してチャンバーを 150 ºC で焼き、コイル ヒーターとるつぼを 500 ºC で予熱します。 1.0E-5 Torr よりも高い真空が必要な場合は、チャンバーを加熱せずに一晩ポンプします。 加熱プログラムを開始したり、密閉されたチャンバーと真空なしで電流を手動で上げたりしないでください! コーターが蒸発操作中は、真空を解放したり、排気を停止したりしないでください。ヒーターの冷却中は、温度が 100 ºC を下回った場合にのみ、排気を停止するか真空を解除してください。