精密温調式真空加熱蒸着装置

GSL-1700X-SPC-2 は、200 ºC から 1500 ºC (または 200 ºC - 1700 ºC) までの 2 インチ サイズまでのほとんどの金属および有機材料フィルムのコーティングに適した、精密でプログラム可能な温度制御を備えたコンパクトな熱蒸着コーターです。オプションの B 型熱電対を使用) 回転可能なサンプル ホルダーが内蔵されており、均一なフィルム コーティングが可能です。

仕様:

構造と構造特徴	外径 6 インチ x 高さ 10 インチの石英チャンバーにより、クリーニングとサンプルのロードが容易 均一なフィルムコーティングのための直径2インチの回転可能なサンプルホルダー 1700 ºC までの高温コーティング用のタングステン コイル ヒーターとアルミナるつぼ 30 のプログラム可能なセグメントと +/- 1 ºC の精度を備えた精密な温度制御 オプションのターボポンプにより1.0E-5Torrまでの高真空を実現 チャンバーパージとCVDの可能性のためにガスフローポートとバルブが組み込まれています
入力電力	入力電圧: 208 - 240 VAC 50/60 Hz、単相 入力電力: 500W 出力電力: 最大電流 40 A。推奨使用電流 <20 A プラグなしの電源ケーブル付属
温度管理と温度管理ヒーター	アルミナ坩堝の底に熱電対付きのタングステンコイルヒーターが内蔵されています（温度調節用（写真1）。寸法は左図をご参照ください）。 標準 S タイプ熱電対 (同梱および設置済み) - 200 ºC ～ 1500 ºC の加熱 (PIC. 2) オプションの B タイプ熱電対 (追加料金) - 1200 ºC ～ 1700 ºC の加熱 30 のプログラム可能なセグメントと +/- 1 ºC の精度を備えた 1 つのデジタル温度コントローラー (PIC. 3) 温度コントローラーの時間設定は秒単位です。温度加熱/冷却速度を 1200 ºC 未満では 0.3 ºC/s (または 20 ºC/分) に制限し、1200 ～ 1700 ºC では 0.15 ºC/秒 (または 10 ºC/分) に制限することをお勧めします。 1300以上の連続加熱用 ºC、下部フランジ O リングの耐用年数を維持するために、操作時間を 1 時間未満に制限してください カーボン コーティングで必要とされる 2000 °C までの高速コーティングでは、ユーザーは熱電対、アルミナ サーマル ブロック、アルミナるつぼを取り外し、蒸発材料をタングステン コイル ヒーターに直接ロードし、現在の手動制御モードを使用できます (写真 4)。 ) 4 つのアルミナるつぼ (最高 1700 ºC) と 2 つのタングステン コイル ヒーターが含まれています。スペアパーツの注文については、オプションのセクションを参照してください
サンプルホルダー	50mm径1本回転可能なサンプルステージとそのシャッターはトップフランジに取り付けられています。 回転数：5rpm サンプルホルダーから蒸発源までの距離は40mmから85mmまで調整可能
膜厚モニター（オプション）	精密クォーツ厚みセンサー オプションです。チャンバーに組み込むことで、0.10 Å の精度で瞬時に膜厚をモニタリングできます。チャンバー外の LED ディスプレイ ユニットは次のことができます。 · 付属のデータベースに基づいてコーティング材料情報を入力 総膜厚と塗布速度を表示 精度 薄膜・コーティング分析システム - EQ-TFMS-LD 追加料金で利用可能です
真空	KF25 真空ポートは、真空ポンプに接続するために取り付けられています。 オプションのターボ分子ポンプを使用して一晩排気することにより、最高真空度が <4.0E-6 Torr に達する場合があります コーティングには真空ポンプが必要です。次の製品オプションから選択してください 真空ポンプはありません。 耐腐食性キャパシタンスダイヤフラムゲージ 1.0E-6 Torrまでの真空用に含まれています 金、銀、有機材料などの貴金属材料を蒸発させるために、最大 1.0E-2 Torr の真空に達することができるオイル ミストを排除するためのベーパー トラップを備えた 2 段ロータリー ベーン真空ポンプ。
ガス入口	チャンバーパージやフォーミングガス処理用に1/4チューブフィッティングを内蔵 ガス流量を制御するニードルバルブを1個内蔵
オプション	追加 アルミナるつぼ と タングステンコイルヒーター 追加料金でTMAXで注文できます 合計 4 つの蒸発源るつぼを使用して、複数の異なる材料を堆積させ、同じチャンバー雰囲気内で多層を 1 つずつ成長させることができます。
全体寸法
石英チャンバー寸法	外径：165mm 内径：150mm 長さ: 250mm
コンプライアンス	CE証明書
保証	1 年間の限定保証付き 生涯サポート
正味重量	50キロ
配送重量と重量寸法	130ポンド、40インチ×30インチ×32インチ。
アプリケーションノート	一部の材料の蒸発に必要な高真空を達成するために、ユーザーは次のことができます。 チャンバー、O リング、およびフランジに粒子、繊維、または傷がないかどうかを確認します。イソプロピル アルコール (IPA) で湿らせた糸くずの出ないティッシュを使用して、表面をきれいに拭きます ヒーター テープを使用してチャンバーを 150 ºC で焼き、コイル ヒーターとるつぼを 500 ºC で予熱し、オプションのターボ ポンプで少なくとも 2 時間ポンピングします。 1.0E-5 Torr よりも高い真空が必要な場合は、チャンバーを加熱せずに一晩ポンプします。 コーターは Ar または N2 ガス グローブ ボックスに配置して、謙虚さと熱を蒸発させることができます。リチウム金属などの酸素に敏感な材料。 加熱プログラムを開始したり、密閉されたチャンバーと真空なしで電流を手動で上げたりしないでください! コーターが蒸発操作中は、真空を解放したり、排気を停止したりしないでください。ヒーターの冷却中は、温度が 100 ºC を下回った場合にのみ、排気を停止するか真空を解除してください。