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分子ポンプ
Model Number:
TMAX-pump620:
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分子ポンプ
タイプシリーズ複合分子ポンプユニットは、f160 / 620シリーズで構成されています 複合分子ポンプ性能またはff-160/500 fシリーズ複合分子 ポンプ、前のポンプレベル、パーティションブリードバルブ、以前のレベルライン、水 プロテクター、分子ポンプ電源、高真空試験システム(化合物 真空計)、ラックの電源アセンブリを制御し、きれいになる 超高真空装置。簡単なインストール、簡単な操作、簡単 接続、信頼性の高いパフォーマンス、および表面分析に広く使用できます。 加速器技術、半導体装置、プラズマ技術、電気 さまざまな分野の真空装置製造と真空技術。
モデル |
fj-620 |
||
輸入フランジ |
dn160lf |
dn160cf |
|
排気速度 l / s(オンエア) |
600 |
||
圧縮比 n 2 h 2 |
> 10 9 6×10 3 |
||
推奨開始圧力 |
<100 pa |
||
究極の圧力 (pa) |
6×10 -6 |
6×10 -7 |
|
排気フランジ |
kf25 / kf40 |
||
ベアリング |
精密機械ベアリング |
||
AC入力周波数 (v / hz) |
380±20/50 |
||
環境温度 (℃) |
0〜40 |
||
前ポンプタイプ |
rvp-6 |
||
定格回転速度(rpm) |
42,300 |
||
冷却方法 |
水冷 |
||
冷却水圧 (mpa) |
0.1-0.2 |
||
冷却水温度 (℃) |
< 25 |
||
ランダム |
|||
重量(kg) |
52 |
||
l×w×h |
730×520×700 |
||
重量 |
117 |
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