入力電圧

• AC220V 50/60Hz
• 110 V 電源は、 1000Wトランス（15Aヒューズ） ）。トランスは別売りです

出力電力

• DC1600V
• 250W
• 最大150mA
• 内蔵過電流保護 (>150 mA)

スパッタリングヘッド

• 水冷ジャケット付きの 2 インチ フレキシブル マグネトロン スパッタリング ヘッドが付属
• ターゲット保護用の手動シャッター 1 つ
• 非動作時にスパッタヘッドを保持するためのスパッタヘッドホルダーが用意されています
• スパッタリングヘッドとサンプルステージ間の距離は60～100mmで調整可能
• 1 水冷再循環水チラー 16 L/min 流量 スパッタヘッド冷却用付属

振動ステージ

• 真空チャンバー底部に振動台を内蔵
• 振動速度は 400 ～ 2000 RPM (6 ～ 33 Hz) で調整可能です。
• 粉末の 2 インチの容器 1 つが振動ステージに置かれます。振動中に回転します。
• 推奨パウダー量: <最大500mg
• 推奨粒子サイズ: 1 ~ 1000 ミクロン

真空室

• 石英ガラス管、外径165mm。 X 150mm ID x 250mm 高さ

コントロールパネル

• 簡単な操作のための PLC 統合を備えた 6 インチ カラー タッチ スクリーン コントロール パネル
• すべてのパラメータの監視と制御のための 1 つのパネル: 真空、電流

到達真空圧

• KF25真空ポート内蔵
• システムには、圧力調整器付きの Ar ガスタンクが必要です (含まれていません)。
• < 1.0E-2 Torr by ベーン真空ポンプ (含まれていません) Au、Ag、Pt、Cu、Mo ターゲット用 (空気の影響を受けません)
• < 1.0E-5 Torr by ターボ分子ポンプ (含まれていません) Al、Mg、Li、Lr、Ti、Zn ターゲット用 (空気に敏感)
• 最低の真空度は < に達することがあります。 4.0E-6 Torr 一晩ポンピングしてベーキング

ガス雰囲気

• より良いプラズマ コーティングを実現するために、Ar ガスの導入を可能にする 1 つのニードル バルブが取り付けられています。
• システムには、圧力調整器付きの Ar ガスタンクが必要です (含まれていません)。

目標

• テスト用に 2 インチの銅製ターゲットが 1 つ含まれています。ターゲットのサイズは直径 2 インチです。 ×2.5mm
• コーティングも可能 Ag、Al、Cr、Ni、Pt、Ti、Sn、Li、Mg など、ほぼすべての種類の金属材料
• 警告： アルミニウム、クロムまたはニッケル 本機で塗装可能ですが、下記ターゲットリンクの推奨塗装方法をご覧ください。
• 非導電性材料やカーボンのコーティングには RF プラズマ マグネトロン スパッタリング コーターを使用してください。

全体寸法

正味重量

• 20キロ

配送重量と重量寸法

• 160ポンド
• 45インチ×45インチ×40インチ。

コンプライアンス

• CE承認
• NRTL (UL 6100) 認定は、リクエストに応じて追加料金で利用できます。見積もりについては、当社の営業担当者にお問い合わせください。

保証

• 生涯サポート付きの1年間限定

アプリケーションノート

• 警告: スパッタリング ヘッドは高電圧に接続されています。オペレーターは操作中に手袋を着用する必要があります
• コーティングする前に、ターゲット、スパッタリング ヘッド、基板、および加熱ステージがきれいであることを確認してください。
• 注: コーティングの前に、粉末が十分に乾燥して分散している必要があります。
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