ラボ 2 ゾーン CSS 炉は、最大 3 インチ径 & 650ºC の急速熱処理用です。

OTF-1200X-RTP-II は、外径 11 インチの石英管を備えた 2 加熱ゾーンの急速熱処理炉です。PVD または CSS 用に設計されています ( 離間昇華を閉じる ) 直径 3 インチまたは 2 インチ x 2 インチの正方形までのフィルム コーティング。炉は、2 つのグループのハロゲン ヒーター (上部と下部) によって、最大 20ºC/秒の加熱速度で別々に加熱されます。2 つの 30 セグメント精密温度コントローラーが内蔵されています。 +/-1ºC の精度. RS485 ポートと制御ソフトウェアが含まれており、炉の操作と PC を介した温度プロファイルの記録が可能です. CdTe、硫化物、P などの太陽電池用の新世代の薄膜を研究するための優れたツールです エロブスカイト太陽電池。

仕様:

炉の構造と構造真空室	· デュアル ヒーター、2 つの温度コントローラー、2 チャンネルのガス流量計は、移動可能なアルミニウム合金フレームに統合されています。 · チャンバーは高純度の溶融石英管でできています · 石英管のサイズ: 外径11インチ/内径10.8インチ x 高さ9インチ。 · 真空フランジはステンレス鋼 316 製です。 · 全体寸法：850(L)×745(W)×1615(H)mm
真空フランジ	· 1 つの KFD-25 真空ポートと 2 つのガス出口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えたトップ フランジは、手動で上下にスライドして、基板と蒸発材料を簡単にロードおよびアンロードできます。 · 下部フランジには、2 つのガス入口 (1/4 インチのパイプが必要) とニードル バルブを備えた 1 つの KFD-25 真空ポートがあります。 · フランジは二重のシリコン O リングで密閉されており、高品質のメカニカル ポンプで 10E-2 Torr、分子ポンプで 10E-5 Torr の最大真空圧を達成できます (真空ポンプは含まれていません。別途注文してください)。 · 精密防食デジタル真空計を標準装備 (2016.03.24以降) .
ガス流量計	2 つのフロートメーターがコントロール パネルに取り付けられており、測定範囲は次のとおりです。 · 16～160mL/分 · 400～4000mL/分（パージ用）
ヒーターとサンプルホルダー	· 高速加熱用の加熱要素として 2 つの短波 IR ランプ。 · 2 つのヒーター間の距離は 10 ～ 50 mm で調整可能 · ヒーターは、熱放射を減らし、急速冷却を可能にする水冷ジャケット付きのステンレス鋼でできています · 3" 丸型ウエハーホルダー 基板をロードするための上部ヒーターが組み込まれています · 高熱伝導 AlN プレート (直径 3 インチ x 厚さ 0.5 mm) が 1 枚含まれており、これを基板の背面に置いて均一に加熱します · 3 インチのグラファイト プレート 1 枚を AIN プレートの代わりに使用できます。下の画像をクリックしてご注文ください。 · ハロゲンライトヒーターの交換は追加料金で利用できます
温度調節器	· 30 セグメントをプログラム可能な 2 つの高精度デジタル温度コントローラーにより、上部ヒーターと下部ヒーターを個別に制御できます。 · 各コントローラーには、オーバーシュートからヒーターを保護するための PID 自動調整機能と、過熱と熱電対の破損を防ぐためのアラーム機能があります。 · PC通信インターフェース＆以下のように温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています (詳細については下の画像をクリックしてください)。
作業温度	· 各ヒーターの最高温度: <= 650ºC · 2 つのヒーター間の最大温度差: <= 300ºC 2 つのヒーター間の間隔によって異なります。 o 間隔 30mm マックス。温度差：315℃＠加熱下のみ o 間隔 40mm 最大。温度差：350℃＠加熱下のみ o 間隔 50mm温度差：395℃＠加熱下のみ
暖房・暖房冷却速度	· 暖房: < 8℃/s（加熱単体ヒーターのみ） · 冷却: &lt; 10℃/秒（600～100℃）
サーマルカップル	K型熱電対（露出）2本を上下ヒーターに別々に設置
使用電圧	208 ～ 240VAC、単相、20A エア ブレーカー
電力要件	合計2200W（各ヒーター1100W）
オプション	· 真空ポンプは1台必要です。下の左から1枚目の写真をクリックして単品でご注文ください。真空レベルは<に達することができます。 = 10E-2 torr メカニカルポンプ · 腐食性ガスを使用する場合は、下の左から2番目の写真にある腐食防止ドライポンプ（ドイツのファイファーポンプ）を追加料金で使用することを検討してください。 · 水源を節約するための循環水チラーを別途注文することができます · 右下の最初の画像をクリックして、デジタル MFC ガス供給システムを選択できます。
保証	1年限定ライフタイムサポート付き（石英管や加熱ランプなどの消耗品は保証対象外）
ラップトップ、ソフトウェア、 WiFi コントロール (オプション)	· Microsoft Window 10 および Microsoft Office 2013 (30 日間の無料試用版) を搭載した、すぐに使用できる新品のラップトップ。 · Labview ベースの温度制御システム ( EQ-MTS01 ) ユーザーは、温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、MTI 炉のデータの記録とプロットを行うことができます。 · ワイヤレスリモコンは、最大 300 メートルの動作範囲を提供します。 · 上記の機能は、リクエストに応じて追加料金 (最大 ,000) で利用できます。詳細については、お問い合わせください。 · ノート： このソフトウェアは、MTI の Yudian 温度コントローラーとのみ互換性があります。 ·
アプリケーションノート	記事を読んでください： 高効率性の CSS CdTe 太陽電池
警告	· 石英管を使用した管状炉は、真空および低圧で使用するように設計されています。 0.2 バー / 3 psi / 0.02 Mpa。真空圧は、1000°C までしか安全に使用できません。ガスの流量は 1/2 未満に制限する必要があります。チューブへの熱衝撃を軽減するための 200 SCCM (または 200 mL/分)。 · 注意 : 安全な操作のために、圧力を 3 PSI 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器をガス シリンダーに取り付ける必要があります。