最大 800°C で最大直径 5 インチのウェーハを急速熱処理するための 2 ゾーン ラボ CSS 炉 - OTF-1200X-RTP-II-5

OTF-1200X-RTP-II-5 は、内径 11 インチの石英チャンバーを備えた急速熱処理炉です。熱蒸着または CSS ( 離間昇華を閉じる ) 最大 5 インチの直径の円形サンプルと 800°C までのフィルム コーティング。 10℃/秒 加熱速度。 2 つの 30 セグメント精密温度コントローラーが組み込まれており、精度は +/-1ºC です。 RS485 ポートと制御ソフトウェアが含まれており、炉の操作と PC 経由での温度プロファイルのロギングが可能です。 CdTe、硫化物、ペロブスカイト太陽電池など、太陽電池用の新世代薄膜を研究するための優れたツールです。

仕様:

炉の構造と構造真空室	· 2 つの温度コントローラー。 · チャンバーは高純度の溶融石英管でできています。 · 石英管のサイズ: 外径11インチ/内径10.8インチ x 高さ9インチ。 · 真空フランジはステンレス鋼 316 製です。
真空フランジ	· 1 つの KFD-25 真空ポートと 1 つのガス出口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えたトップ フランジは、手動で上下にスライドして、基板と蒸着材料を簡単にロードおよびアンロードできます。 · ボトム フランジには、ニードル バルブ付きの 1 つのガス入口 (1/4 インチのパイプが必要) を備えた 1 つの KFD-25 真空ポートがあります。 · フランジは、二重のシリコン O リングで密閉されており、最大 100 mm を達成できます。高品質のメカニカル ポンプで 10E-2 Torr、分子ポンプで 10E-5 Torr の真空圧力 (真空ポンプは含まれていません。別途注文してください)。 · デジタル真空計はトップフランジに1個取り付けられています。 · 精密防食デジタル真空計を標準装備 (2016.03.24以降) .
ガスフロー制御	16 ～ 160 mL/m の調整可能な測定範囲を備えた 2 つのフロートメーターと統合されたガスミキサー
ヒーターとサンプルホルダー	· 2 ～ 30 mm の範囲でギャップを手動で調整できる 2 つの独立制御ヒーター。 · 20個のハロゲンランプが急速熱処理用の発熱体として使用されています。 · ヒーターは、熱放射を減らし、急速冷却を可能にする水冷ジャケット付きのステンレス鋼でできています。 · 直径5インチの円形ウェーハホルダーは、基板を保持するための上部ヒーターに組み込まれています。 · 熱伝導率の高い AlN プレートまたはグラファイト プレート (直径 5" x 厚さ 0.5mm) が 1 セット含まれています (材料を蒸発させるために底部に置きます)。 · 水源を節約するために、58L/分の循環水チラーが含まれています (詳細な仕様を表示するには、下の写真をクリックしてください)。
温度調節器	· 30 セグメントをプログラム可能な 2 つの高精度デジタル温度コントローラーにより、上部ヒーターと下部ヒーターを個別に制御できます。 · 各コントローラーには、オーバーシュートからヒーターを保護するための PID 自動調整機能と、過熱と熱電対の断線を防ぐためのアラーム機能があります。 · PC通信インターフェース＆以下に示す温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています。 ·
作業温度	· 各ヒーターの最高温度: <= 800ºC. · 2 つのヒーター間の最大温度差: <= 300ºC 2 つのヒーター間の間隔によって異なります。 o 間隔 30mm マックス。温度差：315℃＠加熱下のみ
暖房・暖房冷却速度	· 暖房: < 8℃/s（加熱単体ヒーターのみ） · 冷却: &lt; 10℃/秒（600～100℃）
サーマルカップル	Kタイプの熱電対は、上下ヒーターに別々に2つ取り付けられています。
使用電圧	220VAC、単相、60A エアブレーカーが必要
電力要件	合計9.5KW
寸法	長さ1085mm×幅680mm×高さ1710mm
配送重量と重量寸法	· 2 つのパレット: 525 ポンド、48 インチ x 40 インチ x 87 インチ、および 165 ポンド、39 x 31 x 29 インチの寸法
オプション	· 真空ポンプは1台必要です。下の左から1枚目の写真をクリックして単品でご注文ください。真空レベルは<に達することができます。 = メカニカル ポンプによる 10E-2 torr。 · 腐食性ガスを扱う場合は、下左から2番目の防錆ドライポンプ（ドイツのファイファーポンプ）を別途有償でご検討ください。 · 右下の最初の画像をクリックして、デジタル MFC ガス供給システムを選択できます。
保証	生涯サポート付きの1年間限定（石英管や加熱ランプなどの消耗品は保証対象外）。
ラップトップ、ソフトウェア、 WiFi コントロール (オプション)	· Microsoft Window 10 および Microsoft Office 2013 (30 日間の無料試用版) を搭載した、すぐに使用できる新品のラップトップ。 · Labview ベースの温度制御システム ( EQ-MTS01 ) ユーザーは、温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、MTI 炉のデータの記録とプロットを行うことができます。 · ワイヤレスリモコンは、最大 300 メートルの動作範囲を提供します。 · 上記の機能は、リクエストに応じて追加料金 (最大 ,000) で利用できます。詳細については、お問い合わせください。 · ノート： ソフトウェアはのみと互換性があります Tmax の玉店温度コントローラー
アプリケーションノート &amp;警告	· 石英管を備えた管状炉は、真空および低圧で使用するように設計されています。 0.2 バー / 3 psi / 0.02 Mpa。真空圧は、1000°C までしか安全に使用できません。ガスの流量は 1/2 未満に制限する必要があります。チューブへの熱衝撃を軽減するための 200 SCCM (または 200 ml/分)。 · 注意 : 安全な操作のために、圧力を 3 PSI 未満に制限するために、2 段階の圧力調整器をガス シリンダーに取り付ける必要があります。 · この炉のフットスタンドは、平らな面での短距離運搬用に設計されています