真空 p アンプ s ら

( 〇 必須） r 耳道 v アキューム p アンプ

ロータリー p アンピング s おしっこ

50Hz : 8 m³ / h ( 2 . 2 L/s)/ 60 Hz : 9. 6 m³ /h ( 2 . 6 L/s)

真空 l 模倣する

2 パ

最大スパッタリング電流

100mA

最大蒸発 現在

100A

働く p 圧力をかける

20Pa - 8 パ

掃除機をかける ティ 自分

<5 分( 2 パ）

真空 メートル 安心

大気から大気までの測定範囲 2*10 -2 mbar

ガス c 制御

ガス へ 低い c コントローラ

チャンバー s 化する

Φ 15 0* 12 0mm（高さ） 傷に強い石英ガラス

マグネトロン t ターゲット s ソース

対象サイズ φ50※ 0.1 んん（ あ u)/ t ターゲット ソース: Au、Ag、Pt

蒸発量 ターゲット s ソース

対象素材：カーボンロープ / 対象出典：カーボンロープ

手術 メートル 方法

取扱説明書 l

(2台) 重さ/ s 化する

55 kg/ 36 長さ 0mm × 30 幅0mm バツ 38 高さ0mm

力 s 供給する

AC110V 60Hz または AC220V 50Hz

力 c 消費

&lt; 20 00W

冷却 メートル 方法

空気 c ウーリング （蒸発）＋水冷（スパッタリング）

保証

ライフタイム製品による1年間の限定保証 サポート t