SEM試料作製用マグネトロンイオン熱蒸着カーボンスパッタコーター

SEM試料作製用マグネトロンイオン熱蒸着カーボンスパッタコーター 序章 マグネトロンイオンスパッタリング装置 &アンプ; 熱の 蒸発炭素 コーター ラボの SEM サンプル準備に最適で、設計されています。 SD900C モデル (マグネトロン イオン スパッタリング ユニット) は、非導電性または熱に敏感な SEM サンプルをより良いイメージングのために Au でコーティングするために広く使用されています。また、表面処理にも優れており、基板サンプルへの損傷を防ぎます。 SD900C型（熱蒸着カーボンユニット）カーボンコーターは、サンプル表面に薄い導電性カーボン膜を塗布します。このコーティングを非導電性サンプルに適用することは、SEM で分析するためのチャージアップ電子アーティファクトを減少させるための効果的な準備技術です。 適切な真空ポンプを使用すると、5 分以内に作業真空圧にすばやく到達できます。ユーザーフレンドリーで操作も簡単です。 真空ポンプが付属しています。 チラーはオプションです。 （マグネトロンイオンスパッタリング装置用） パラメータ 真空 p アンプ s ら ( 〇 必須） r 耳道 v アキューム p アンプ ロータリー p アンピング s おしっこ 50Hz : 8 m³ / h ( 2 . 2 L/s)/ 60 Hz : 9. 6 m³ /h ( 2 . 6 L/s) 真空 l 模倣する 2 パ 最大スパッタリング電流 100mA 最大蒸発 現在 100A 働く p 圧力をかける 20Pa - 8 パ 掃除機をかける ティ 自分 <5 分( 2 パ） 真空 メートル 安心 大気から大気までの測定範囲 2*10 -2 mbar ガス c 制御 ガス へ 低い c コントローラ チャンバー s 化する Φ 15 0* 12 0mm（高さ） 傷に強い石英ガラス マグネトロン t ターゲット s ソース 対象サイズ φ50※ 0.1 んん（ あ u)/ t ターゲット ソース: Au、Ag、Pt 蒸発量 ターゲット s ソース 対象素材：カーボンロープ / 対象出典：カーボンロープ 手術 メートル 方法 取扱説明書 l (2台) 重さ/ s 化する 55 kg/ 36 長さ 0mm × 30 幅0mm バツ 38 高さ0mm 力 s 供給する AC110V 60Hz または AC220V 50Hz 力 c 消費 &lt; 20 00W 冷却 メートル 方法 空気 c ウーリング （蒸発）＋水冷（スパッタリング） 保証 ライフタイム製品による1年間の限定保証 サポート t