回転プラズマ チューブ炉 (60 mm 外径) 単一加熱は 1200 ° C マックスをゾーンします。

TMAX DSP-1200PECVD XZ s は 3 つのゾーンの 1200 º c PE-CVD 500 w 高周波プラズマ源、チューブ、統合チャネル精密質量流量計撹拌槽、ガス炉のチューブ炉システム構成し、高品質無給油真空ポンプです。 このような PE CVD 炉はナノワイヤやグラフェンの成長または SiC コーティングの新しいツール。

仕様:

電源	3.5 KW
チューブ サイズ	Dia 60(OD) X1200mm
製品寸法 (mm)	1300 x 420 x 1200
チューブ回転速度	0 - 25 RPM 可変
炉傾斜角	-10-30 °
	の特徴 1。 2 つのプログラマブル高精度温度 30 セグメントのコント ローラー。 2。 2 つ別々 に制御可能な暖房 ゾーン: 200 ミリメートルの長さごとに 加熱ゾーン 暖房で合計 400 mm 長さ 250 mm 定数中央 両方のゾーンが同時に加熱した場合、領域を加熱温度 温度
炉構造	1. スライド レール の分割チューブ炉 2。 連続的な暖房の Max 1150ºC 3。 マルチ プログラミング可能な精度のデジタル 温度コント ローラー 30 セグメント。 4。 入力電力: 208-240 v AC 入力、シングル 最大で相。4 kw
プラズマ高周波電力供給	1. 出力電力: 5 - 500 w 安定性 ± 1% で調整可能です。 2。 RF 周波数: 13.56 MHz 0.005% の安定性。 3。 反射波電力: 10 w 最大。 4。 マッチング: 自動 5。 RF 出力 ポート: 50 Ω、N 型、女性 6。 ノイズ: < 30 dB。 7。 冷却: 空冷。 8。 電源: 208-240 vac、単相、50/60 Hz
防錆用圧力 ゲージ	1. 3.8x10 -5 1125 Torr まで 測定範囲 2。 防錆ガス型独立 3。 高精度と再現性で 信頼できる気圧検出 のための大気 4。 高速大気検出を排除 待機時間と短縮プロセス サイクル 5。 簡単交換プラグ & プレイ センサーへ 要素
真空ポンプ ステーションと バルブ	1. ファイファーの高速 (120 L/分) オイルレス ドライ真空ポンプ、10E 3 Torr 制限が重い義務内インストールされています。 携帯カート 2。 KF25 アダプターとステンレス鋼管 お客様のプラグ用ボール弁とポンプとチューブのフランジの間に接続 を再生 3。 10E 2 torr まで真空を達成することができます。 内部加工チューブ
質量流量・ ガス混合駅	にインストールされている、 頑丈なモバイル カート上部にチューブ炉を配置できます。 ガスの流れの簡単な制御を提供する LCD タッチ スクリーンを統合します。 独立した各チャンネルの数です。 1. 働く温度: 5 ~ 45 ° C 2。 最大します。圧力: 3 x 10 6 Pa 3。 精度: ± 1.5% FS 4。 ライナー: ±(0.5-1.5) %f. s. 5。 複製精度: ±0.2%F.S. 6。 制御 範囲: 5,10,20,30,50,100,200,300、500SCCM、1,2,3,5、10SLM。
加熱・冷却	RS485 ポートの料金と ソフトウェアがインストールされ、リモート制御の温度を許可します。 PC でのプロファイル。 達成するために Max.heating レート、ユーザーは希望に炉予熱する必要があります。 温度、炉のスライド、チューブ を達成するためのサンプル ゾーンを Max。寒さに熱い地帯から加熱炉を移動冷却速度、 暖房率をゾーン: 15 ° C/秒 (RT - 150 ° C); 10 ° C/秒 (150 ° C-250 ° C); 7 ° C/秒 (250 ° C -350 ° C); 4 ° C/秒 (350 ° C -500 ° C); 3 ° C/秒 (350 ° C -550 ° C); 2 ° C/秒 (550 ° C -650 ° C); 1 ° C/秒 (650 ° C -800 ° C); 0.5 ° C/秒 (800-1000 ° C); 冷却速度: 15 ° C/秒 (1000-950 ° C); 10 ° C/秒 (950 ° C ~ 900 ° C); 7 ° C/秒 (900 ° C-850 ° C); 4 ° C/秒 (850 ° C ~ 750 ° C); 2 ° C/秒 (750 ° C ~ 600 ° C); 1.5 ° C/秒 (600 ° C から 500 ° C); 1 ° C/秒 (500 ° C ~ 400 ° C); 0.5 ° C/秒 (400-300 ° C);
保証	1 年間の限定保証の有効期間 サポートします。
アプリケーション ノート	チューブ炉石英管とは 真空と低圧 < 0.12 MPa (絶対下を使用するために設計されています 圧力)。 注意: A 2 段階圧力調整器は、ボンベを制限にインストールしなければなりません 安全な操作の 3 つの PSI 以下に圧力。 流量 ガスを減らすため < 200 SCCM (または 200 ml/分) に限定する必要があります。 管に熱衝撃。 真空制限 すべて石英チューブ炉の定義: * 真空圧した場合のみ 1000 ° C まで、安全に使用営業の チューブ サイズ 4"よりも大きい PECVD システムしてくださいいつも以上 プラズマ発生器の起動後のプラズマ源から 1 メートルの距離 作業。

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2。 リチウム バッテリー装置 研究室の研究、パイロット スケールの研究と生産のためのフルセットを提供林 e.

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