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製品
PECVD Tube Furnace

pecvdチューブ炉をスライドミニ単一温度ゾーン

  • Model Number:

    TMAX-1200-SlidingPEC
  • :

    Xiamen
  • お支払い:

    L/C D/A D/P T/T Western Union
  • Delivery Time:

    5 days
製品の詳細

pecvdを滑らせる小型単一温度帯


tmax1200-s-h-pecvd システムは tl1200真空管炉、石英真空チャンバー、rf電源、 gxガス供給システム、ポンプシステム、真空測定システム。

主な特徴:

1.ガス 石英真空チャンバーは、RF電源によりイオン状態に変化します。

2. pecvdは 化学蒸着の通常のcvdよりも低い。

3.のストレス 蒸着膜は、RF電源の周波数によって制御できます。

4. pecvdは 通常より高い堆積速度、良好な均一性、一貫性および安定性 cvd。

5.広く使用されている siox、sinx、sioxny、アモルファスなどのさまざまなフィルムの成長 シリコン(a-si:h)など

tmax1200-s-h-pecvdシステムテクニックからスウェーデンのカンタル抵抗線発熱体、 ダブルシェル構造と30プログラムの温度制御テーブルを使用して、 移相トリガー、サイリスタ制御、多結晶を使用した炉 アルミナ繊維材料、缶の両端のステンレス鋼フランジシール 炉管、ステンレス鋼フランジの取り付けには、口、バルブ、 圧力計、真空、真空度は10-3 pa、低温フィールドに達することができます バランス、表面温度、リフト温度率、省エネ、価格 譲歩など

1.スウェーデンのカンタルa1抵抗線

カンタル a1オリジナルワイヤ中国抵抗 ワイヤー炉vs   輸入抵抗線炉

(1)、高い表面温度は1420に達することがあります

(2)表面がステンレス鋼(非常に明るい、顧客 それに注意を払う必要があります)、それは錆びず、使用時間は落ちません スラグから。

(3)カンタル抵抗線のデータがダウンロードされます

(4)カンタル抵抗線のWebサイト:www.kanthal.com

(5)抵抗はバランスが取れており、温度場は 同様に良い

ほとんどのメーカーは、moをドープしたfe-cr-al合金を使用しています 抵抗線、

時には抵抗が不均一であり、熱の一部が小さい                                           カンタル a1の抵抗は均一で熱バランスが取れており、良好な温度場                                                                                                                                                                       効果

2.空気のインストール スイッチおよび漏出保護装置:

電流または漏れ、空の会議 自動的に切断します。

3。 コンピューターと接続できます

この炉には通信インターフェースが装備されており、 ソフトウェアは、それぞれの炉のコンピュータ制御を介して直接することができます パラメータ、およびストーブとsvのコンピューターpvから観察できます。 温度値と機器の動作、実際の温度 炉曲線描画コンピュータリアルタイム、およびの温度データを保持することができます 毎回、いつでも呼び出すことができます

4。 チャンバー

(1 )高品質高純度アルミナ多結晶 真空吸引とフィルター成形を備えた繊維硬化炉。

(2)。日本の技術を採用して形成します。

(3)。炉内の抵抗線の間隔とピッチ 日本の最高の熱技術に従って配置され、 温度場は熱ソフトウェアによってシミュレートされます

(4)。 4週間使用 加熱、温度はよりバランスが取れています

5.オプションのul 認定された電気ボード(すべての輸入のUL認証を通じて 電気製品)

6.トリガー

ソフトスタート 電流制限トリガー                           ほとんどのメーカーは非限定的なx門ボードトリガーを使用しています

1位相シフトトリガー(ソフトスタートおよび電流制限付き 関数)

2.加熱の調整方法に関係なく電流制限機能 変圧器の二次電流が制限された後の電気炉の時間 機器の170a以下の限定的な保護。非限定トリガー 加熱速度が正しく設定されていないか、速すぎます。低電流は非常に デバイスが大きくトリップまたは燃え尽きます。

3ソフトスタート機能は、電流が徐々に増加します 現在、発熱体の影響は小さいため、 発熱体の寿命の延長

4電流が制限を超えた場合の保護機能 現在、トリガーは自動的にトリガー機能を遮断して遮断します 現在の保護炉。

7. ul 認定トランス

1変圧器ケーブルは純粋です 銅

2トランスの音が小さい

3トランス温度は 低い

8.さまざまなフランジを選択するためのさまざまなオプション(直径 25から250mmまで)

モデル

tmax-1200-slidingpecvd1

tmax-1200-slidingpecvd2

パワー

1.5kw

チューブ   サイズ

dia25(od)x1250mm

dia50(od)x1250mm

全体   寸法(lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

その   電源電圧

220   v

滑り台   レール素材

304   ステンレス鋼

スライディング   モード

ステンレス   スチール転がり軸受

数   フェーズの

シングル   段階

暖房   素子

インポート   スウェーデンの角膜a1抵抗線をクリックしてデータをダウンロード

制御モード

yu電気プログラム制御温度計(標準)の使用
1. 30プログラム制御温度インテリジェントPID調整。
2.電気炉の加熱回路を自動的に遮断することができます   暖かく保護されているか、誤って破損した場合。 (炉が   温度が1200度を超えるか、熱電対が破損している、ACリレー   主回路は自動的に切断され、主回路は   壊れている、パネルのライトが消灯している   電気炉。
3. 485通信インターフェイス(標準および選択のための標準   ソフトウェア)
4.それに停電の保護の機能があります、すなわち、とき力   オフの場合、プログラムは開始温度から起動しませんが、   炉は電源がオフになると上昇し始めます。
器具は温度の自己設定の機能を備えています


(インポートした楽器を交換するには、別の料金を支払う必要があります。)

fp93温度制御テーブル欧州   楽器のタッチスクリーン楽器

(シマデン)

その   温度制御モード

pid

壊れた   保護とディスプレイ

はい

以上   温度保護

はい

以上   電流保護

はい

コントロール   精度

+   /-1

その   引き金

段階   シフトトリガー

電気的   電化製品

z江   チント

ケイ素   制御整流器

106 / 16e   西門、ドイツ

その   最高温度

温度   ゾーン1:1200 温度帯2:1200

その   定格温度

温度   ゾーン1:1100 温度帯2:1100

暖房   割合

その   20 /分以下(変更可能   要件に応じて

お勧め   加熱速度

10 /分またはles s

モデル   熱電対の

ゾーン   1:kタイプの温度範囲2:kタイプ

暖房   長さ

ゾーン   1:200 mmの温度範囲。 2:200 mm

電気的   認証

ce

周囲   表面温度

45 またはレ s

rf   電源

(プラズマ   発生器)

パワー   出力範囲

0〜500   w

最大   反射力

200   w。

ワーキング   周波数

rf:   13.56 MHzプラスまたはマイナス0.005%

パワー   安定

+   /-0.1%

調波   成分

-   50以下のdbc

rf   幅

0〜600   -mmは調整可能です

マッチング   モード

自動

冷却   モード

空気   コールド

ノイズ

その   < 50 db

その   無線周波数インターフェース

50   Ωn-タイプ

入力   パワー

208-240   -v 50/60 hz

メイン   gxガス供給システムのパラメーター

質量   流量計
標準範囲
プロトン流量コントローラー5、10、20、30、50、100、200、300、500 sccmを使用して、   1、2、3、5、10 slm
(範囲の範囲とガスの種類を選択できます)
最大作動圧力3 mp
プラスまたはマイナス1.5%の精度
圧力降下< 0.01 mpa< p = "">
繰り返し精度±0.2%f.s

チャンネル:

1、   2、3、4、5、6、7、8(オプション)

ジョイント   タイプ

ダブル   カセットステンレススチールコネクター

システム   使用圧力範囲

0.1   〜0.5 mpa

ワーキング   温度

5-45

圧力   真空時計

0.1   〜0.15 mpaから0.01 mpa /ケース

静的   混合室

dia50   x 400 mm

インターフェース

dia6   1/4 "

その   電源

220   v

サイズ

600   x600x600

ひだのついた   パイプ

kf25x1000mm

その   このシステムで真空度に到達できます

10-1   PA

真空   バッフルバルブ

kf25

VRD   8真空ポンプ

モデル

VRD   8へ

制限する   分圧

5   x10-2 pa

入口   排気インターフェース

kf25

モーター   速度

1440   rpm

抽出   割合

2.2   l / s

モーター   パワー

0.4   kw

偽物   acp1オイルフリー多段根ポンプ(計画2)

モデル

acp15

パワー   供給

ac100   〜240v 50 / 60hz

パワー

450   w

排気   インターフェース

kf25

重量

25   kg

その   最大ヘリウム漏れ率は

5   ・10-8 pa m3 / s

極端な   真空度

0.02   トル

その   抽出率は

14   m3 / h

モデル

zdr   -1

パワー

25   w。

真空   度測定範囲

0.1-10   5 pa

抵抗   ケイ素

何   zjは52トンでした

スウェーデン   (インフィコン)ピラニ静電容量真空計(オプション)

モデル

pcg554

入力   電圧

24v   1a dc(220vトランスを装備)

真空   ゲージインターフェース

kf16

デジタル   表示

デジタル   データ表示単位がtorrのディスプレイ(画面サイズ20x14mm)

製品   サイズ

46mm   x 28mm x 126mm(長さx幅x高さ)

その   の重量

5   ポンド

検出   ガスの

いろいろ   混合ガスを含む、正確で再現可能なガスを検出できます。

かどうか   防食

腐食   保護

その   反応時間

30   ミリ秒以下

測定中   範囲

3.8   x10-5-1125トル

分子の   ポンプユニット(オプション)

単位   入力電圧

380   v / 220 v

ひだのついた   パイプ

kf40x1000

真空   バッフルバルブ

kf40

場合   サイズ

600   x600x600

分子の   ポンプ

分子の   ポンプモデル

fj620

入力   電圧

380   v

分子の   ポンプ入口フランジ

dn160

分子の   ポンプポンプ速度l / s(空気用)

600

分子の   ポンプ限界圧力(pa)

6   x 10-7

冷却   システム

水   冷やされた

冷却   水圧(mpa)

0.1   0.2まで

冷却   水温

<   25 < p = "">

その   環境温度

0   〜40

提案された   開始圧力

<   100 pa< p = "">

エンジン   真空ポンプrvp-6

パワー

0.75   kw

電圧

380   v

速度

1450   rpm

入口   直径

kf25   / kf40

ポンプ   排気速度(l / s)

6

究極の   圧力

4   x10-2 pa

ドイツ人   ファイファー真空ポンプ

電圧

220   v

パワー

110   w。

抽出   インターフェース

kf40

その   の重量

150   kg

ポンプ   フロントポンプの速度

0.9   m 3 / h

抽出   レート(n2)

33   ミズ

化合物   真空計

化合物   真空計モデル

zdf

その   電源

220   v 55ワット

コントロール   精度

プラス   またはマイナス1%

真空   ゲージ測定範囲

10-5-10   5 pa

PECVD Furnace


1。 私達は機械を供給します バッテリー技術サポート付き。

2。 私たちは供給します フルセット リチウム電池機器 ラボ研究、パイロットスケール研究、生産林向け e。


laboratory muffle furnace


1つの標準輸出パッケージ:内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

2最適な方法を見つけるために、顧客の要件に応じて、速達、航空、海上で出荷します。

3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷部分を変更します。