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pecvdチューブ炉をスライドミニ単一温度ゾーン
Model Number:
TMAX-1200-SlidingPEC:
Xiamenお支払い:
L/C D/A D/P T/T Western UnionDelivery Time:
5 days
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pecvdを滑らせる小型単一温度帯
主な特徴:
1.ガス 石英真空チャンバーは、RF電源によりイオン状態に変化します。
2. pecvdは 化学蒸着の通常のcvdよりも低い。
3.のストレス 蒸着膜は、RF電源の周波数によって制御できます。
4. pecvdは 通常より高い堆積速度、良好な均一性、一貫性および安定性 cvd。
5.広く使用されている siox、sinx、sioxny、アモルファスなどのさまざまなフィルムの成長 シリコン(a-si:h)など
tmax1200-s-h-pecvdシステムテクニックからスウェーデンのカンタル抵抗線発熱体、 ダブルシェル構造と30プログラムの温度制御テーブルを使用して、 移相トリガー、サイリスタ制御、多結晶を使用した炉 アルミナ繊維材料、缶の両端のステンレス鋼フランジシール 炉管、ステンレス鋼フランジの取り付けには、口、バルブ、 圧力計、真空、真空度は10-3 pa、低温フィールドに達することができます バランス、表面温度、リフト温度率、省エネ、価格 譲歩など
1.スウェーデンのカンタルa1抵抗線
カンタル a1オリジナルワイヤ中国抵抗 ワイヤー炉vs 輸入抵抗線炉
(1)、高い表面温度は1420に達することがあります ℃
(2)表面がステンレス鋼(非常に明るい、顧客 それに注意を払う必要があります)、それは錆びず、使用時間は落ちません スラグから。
(3)カンタル抵抗線のデータがダウンロードされます
(4)カンタル抵抗線のWebサイト:www.kanthal.com
(5)抵抗はバランスが取れており、温度場は 同様に良い
ほとんどのメーカーは、moをドープしたfe-cr-al合金を使用しています 抵抗線、
時には抵抗が不均一であり、熱の一部が小さい カンタル a1の抵抗は均一で熱バランスが取れており、良好な温度場 効果
2.空気のインストール スイッチおよび漏出保護装置:
電流または漏れ、空の会議 自動的に切断します。
3。 コンピューターと接続できます
この炉には通信インターフェースが装備されており、 ソフトウェアは、それぞれの炉のコンピュータ制御を介して直接することができます パラメータ、およびストーブとsvのコンピューターpvから観察できます。 温度値と機器の動作、実際の温度 炉曲線描画コンピュータリアルタイム、およびの温度データを保持することができます 毎回、いつでも呼び出すことができます
4。 チャンバー
(1 )高品質高純度アルミナ多結晶 真空吸引とフィルター成形を備えた繊維硬化炉。
(2)。日本の技術を採用して形成します。
(3)。炉内の抵抗線の間隔とピッチ 日本の最高の熱技術に従って配置され、 温度場は熱ソフトウェアによってシミュレートされます
(4)。 4週間使用 加熱、温度はよりバランスが取れています
5.オプションのul 認定された電気ボード(すべての輸入のUL認証を通じて 電気製品)
6.トリガー
ソフトスタート 電流制限トリガー ほとんどのメーカーは非限定的なx門ボードトリガーを使用しています
1位相シフトトリガー(ソフトスタートおよび電流制限付き 関数)
2.加熱の調整方法に関係なく電流制限機能 変圧器の二次電流が制限された後の電気炉の時間 機器の170a以下の限定的な保護。非限定トリガー 加熱速度が正しく設定されていないか、速すぎます。低電流は非常に デバイスが大きくトリップまたは燃え尽きます。
3ソフトスタート機能は、電流が徐々に増加します 現在、発熱体の影響は小さいため、 発熱体の寿命の延長
4電流が制限を超えた場合の保護機能 現在、トリガーは自動的にトリガー機能を遮断して遮断します 現在の保護炉。
7. ul 認定トランス
1変圧器ケーブルは純粋です 銅
2トランスの音が小さい
3トランス温度は 低い
8.さまざまなフランジを選択するためのさまざまなオプション(直径 25から250mmまで)
モデル |
tmax-1200-slidingpecvd1 |
tmax-1200-slidingpecvd2 |
|
パワー |
1.5kw |
||
チューブ サイズ |
dia25(od)x1250mm |
dia50(od)x1250mm |
|
全体 寸法(lxdxh) |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
|
その 電源電圧 |
220 v |
||
滑り台 レール素材 |
304 ステンレス鋼 |
||
スライディング モード |
ステンレス スチール転がり軸受 |
||
数 フェーズの |
シングル 段階 |
||
暖房 素子 |
インポート スウェーデンの角膜a1抵抗線をクリックしてデータをダウンロード |
||
制御モード |
yu電気プログラム制御温度計(標準)の使用
fp93温度制御テーブル欧州 楽器のタッチスクリーン楽器 (シマデン) |
||
その 温度制御モード |
pid |
||
壊れた 保護とディスプレイ |
はい |
||
以上 温度保護 |
はい |
||
以上 電流保護 |
はい |
||
コントロール 精度 |
+ /-1 ℃ |
||
その 引き金 |
段階 シフトトリガー |
||
電気的 電化製品 |
z江 チント |
||
ケイ素 制御整流器 |
106 / 16e 西門、ドイツ |
||
その 最高温度 |
温度 ゾーン1:1200 ℃ 温度帯2:1200 ℃ |
||
その 定格温度 |
温度 ゾーン1:1100 ℃ 温度帯2:1100 ℃ |
||
暖房 割合 |
その 20 ℃ /分以下(変更可能 要件に応じて ) |
||
お勧め 加熱速度 |
10 ℃ /分またはles s |
||
モデル 熱電対の |
ゾーン 1:kタイプの温度範囲2:kタイプ |
||
暖房 長さ |
ゾーン 1:200 mmの温度範囲。 2:200 mm |
||
電気的 認証 |
ce |
||
周囲 表面温度 |
45 ℃ またはレ s |
||
rf 電源 |
(プラズマ 発生器) |
||
パワー 出力範囲 |
0〜500 w |
||
最大 反射力 |
200 w。 |
||
ワーキング 周波数 |
rf: 13.56 MHzプラスまたはマイナス0.005% |
||
パワー 安定 |
+ /-0.1% |
||
調波 成分 |
- 50以下のdbc |
||
rf 幅 |
0〜600 -mmは調整可能です |
||
マッチング モード |
自動 |
||
冷却 モード |
空気 コールド |
||
ノイズ |
その < 50 db |
||
その 無線周波数インターフェース |
50 Ωn-タイプ |
||
入力 パワー |
208-240 -v 50/60 hz |
||
メイン gxガス供給システムのパラメーター
|
質量 流量計 |
||
チャンネル: |
1、 2、3、4、5、6、7、8(オプション) |
||
ジョイント タイプ |
ダブル カセットステンレススチールコネクター |
||
システム 使用圧力範囲 |
0.1 〜0.5 mpa |
||
ワーキング 温度 |
5-45 ℃ |
||
圧力 真空時計 |
0.1 〜0.15 mpaから0.01 mpa /ケース |
||
静的 混合室 |
dia50 x 400 mm |
||
インターフェース |
dia6 1/4 " |
||
その 電源 |
220 v |
||
サイズ |
600 x600x600 |
||
ひだのついた パイプ |
kf25x1000mm |
||
その このシステムで真空度に到達できます |
10-1 PA |
||
真空 バッフルバルブ |
kf25 |
||
VRD 8真空ポンプ |
|||
モデル |
VRD 8へ |
||
制限する 分圧 |
5 x10-2 pa |
||
入口 排気インターフェース |
kf25 |
||
モーター 速度 |
1440 rpm |
||
抽出 割合 |
2.2 l / s |
||
モーター パワー |
0.4 kw |
||
偽物 acp1オイルフリー多段根ポンプ(計画2) |
|||
モデル |
acp15 |
||
パワー 供給 |
ac100 〜240v 50 / 60hz |
||
パワー |
450 w |
||
排気 インターフェース |
kf25 |
||
重量 |
25 kg |
||
その 最大ヘリウム漏れ率は |
5 ・10-8 pa m3 / s |
||
極端な 真空度 |
0.02 トル |
||
その 抽出率は |
14 m3 / h |
||
モデル |
zdr -1 |
||
パワー |
25 w。 |
||
真空 度測定範囲 |
0.1-10 5 pa |
||
抵抗 ケイ素 |
何 zjは52トンでした |
||
スウェーデン (インフィコン)ピラニ静電容量真空計(オプション) |
|||
モデル |
pcg554 |
||
入力 電圧 |
24v 1a dc(220vトランスを装備) |
||
真空 ゲージインターフェース |
kf16 |
||
デジタル 表示 |
デジタル データ表示単位がtorrのディスプレイ(画面サイズ20x14mm) |
||
製品 サイズ |
46mm x 28mm x 126mm(長さx幅x高さ) |
||
その の重量 |
5 ポンド |
||
検出 ガスの |
いろいろ 混合ガスを含む、正確で再現可能なガスを検出できます。 |
||
かどうか 防食 |
腐食 保護 |
||
その 反応時間 |
30 ミリ秒以下 |
||
測定中 範囲 |
3.8 x10-5-1125トル |
||
分子の ポンプユニット(オプション) |
|||
単位 入力電圧 |
380 v / 220 v |
||
ひだのついた パイプ |
kf40x1000 |
||
真空 バッフルバルブ |
kf40 |
||
場合 サイズ |
600 x600x600 |
||
分子の ポンプ |
|
||
分子の ポンプモデル |
fj620 |
||
入力 電圧 |
380 v |
||
分子の ポンプ入口フランジ |
dn160 |
||
分子の ポンプポンプ速度l / s(空気用) |
600 |
||
分子の ポンプ限界圧力(pa) |
6 x 10-7 |
||
冷却 システム |
水 冷やされた |
||
冷却 水圧(mpa) |
0.1 0.2まで |
||
冷却 水温 |
< 25 ℃ < p = ""> |
||
その 環境温度 |
0 〜40 ℃ |
||
提案された 開始圧力 |
< 100 pa< p = ""> |
||
エンジン 真空ポンプrvp-6 |
|||
パワー |
0.75 kw |
||
電圧 |
380 v |
||
速度 |
1450 rpm |
||
入口 直径 |
kf25 / kf40 |
||
ポンプ 排気速度(l / s) |
6 |
||
究極の 圧力 |
4 x10-2 pa |
||
ドイツ人 ファイファー真空ポンプ |
|||
電圧 |
220 v |
||
パワー |
110 w。 |
||
抽出 インターフェース |
kf40 |
||
その の重量 |
150 kg |
||
ポンプ フロントポンプの速度 |
0.9 m 3 / h |
||
抽出 レート(n2) |
33 ミズ |
||
化合物 真空計 |
|||
化合物 真空計モデル |
zdf |
||
その 電源 |
220 v 55ワット |
||
コントロール 精度 |
プラス またはマイナス1% |
||
真空 ゲージ測定範囲 |
10-5-10 5 pa |
||
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