1200°C垂直pecvd炉、rfジェネレーター、ガスミックス＆amp;ポンプシステム

tmax-1200-pecvd シリーズ化学 蒸着（cvd）およびプラズマ化学蒸着 （pecvd）マルチゾーン分割チューブ炉は、有名な カンタル ®（スウェーデン）ワイヤー 高品質に埋め込まれた発熱体 三菱 ®（日本）アルミナ 繊維断熱材。すべてのスチール製二重層ハウジングにより耐久性が確保され、 外面への熱損失を最小限に抑えます。

炉操作は によって制御される しまでん ®（日本） 組み込みのrs485デジタル通信ポートを備えた40セグメントデジタルコントローラー ユーザーがリモート制御のためにPCに接続できるようにするUSB​​アダプター 炉の監視。テスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。
私たちのすべての炉はCEです 準拠しています。

特徴

・ コンパクト、ポータブル、 軽量設計。

・ 下処理 従来のcvdsと比較して必要な温度。

・ 膜応力は 高/低周波数混合技術により制御されます。

・ 分割炉室 迅速で簡単なチューブアクセス。

・ 標準パッケージに含まれるもの バルブおよび圧力計付きのステンレス鋼製真空シーリングフランジのセット。

・ マイクロプロセッサベース 自己調整pid制御により、最小限の最適な熱プロセスを提供 オーバーシュート。

・ 複数の雰囲気 単一サイクルでのプロセスが可能です（例：バインダーは空気や部品で燃え尽きます 粗真空または不活性ガス環境下での焼結。）

・ 内蔵アンプメーターと 簡単な監視とトラブルシューティングのためのデュアル電圧計。

・ 内蔵コンピューター インターフェース。

・ 長寿命タイプk 熱電対。

・ スライド式炉オプション 超高速の冷却速度を実現

安全性

・ 過熱保護シャット 温度が許容範囲外の場合は炉を下る（参照 コントローラーのマニュアル）または熱電対が破損または誤動作した場合。

・ 停電保護 電力が供給されると、故障点の直後に炉の運転を再開します 再確立されました。

警告！火薬を爆発物で満たさない 水素、一酸化炭素、メタンなどのガス。

炉、真空ポンプ およびガス混合システムの仕様

チューブ素材	石英
発熱体	カンタル ®（スウェーデン）   抵抗コイル線
最大対定数   使用温度	1200°c以下そして   1100°c定数
熱電対   タイプ	k
耐火ライニング	三菱 ®（日本）   1500グレードファイバーアルミナ
温度   コントローラ	しまでん ®（日本）   4つのプログラムと40のセグメントを備えたfp93 （つまり、4 x 10セグメントまたは2 x 20セグメント）
最大加熱   ＆amp;冷却速度	＆lt; 30°C /分
温度   コントローラー精度	+/- 1°c（+/-   1.8°f）
真空シール   フランジキット	ステンレス鋼   1つの真空計を備えた真空シールフランジ、 2つのバルブと4つのサーマルセラミックブロック。
電気的   要件	220vac、3.5kw、   単相

RFジェネレーターの仕様

電気的   要件	208-240ボルト   50/60 Hz
出力電力	5〜500ワット、   +/- 1％ステップで調整可能
RF周波数	13.56 MHzで   +/- 0.005％の安定性
反射力	最大10ワット
マッチング	自動
rf出力ポート	50Ω、nタイプ、   女性
冷却	空気

部品の説明	量	パーツ画像
スプリットチューブ炉	1セット
マルチチャンネルガス   供給システム	1セット
プラズマrfパワー   供給（オプション）	1セット
真空ポンプと   エンクロージャー（オプション）	1セット
石英管	1個
テフロンチューブ（n   チューブ数の略）	n * 5
ステンレス鋼   真空計フランジと圧力計	1セット
ステンレス鋼   針	1個
アルミナセラミック   サーマルブロック	2ペア
サーマルグローブ	1ペア
高温   アル 2 o 3 アルミナ   坩堝	5個
スペアヒューズ	2個
usb / rs485コンピューター   インターフェースキット	1セット
炉と   シマデンコントローラーマニュアル	2個

1。 私達は機械を供給します バッテリー技術サポート付き。

2。 私たちは供給します フルセット リチウム電池機器 ラボ研究、パイロットスケール研究、生産林向け e。

1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

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