RF電源

pecvdシステム 管状炉、石英真空チャンバー、真空システム、ガス供給で構成されています 主に使用されるシステムとRF電源システム：金属膜、セラミック膜、 複合膜、グラフェン、その他の成長。機能を高めるのは簡単です。 プラズマクリーニングエッチングとエッチングの。pecvdシステムには高い利点があります 堆積速度、良好な均一性、一貫性および安定性。

出力範囲	0-500w
最大反射電力	200w
動作周波数	rf ： 13.56MHz ± 0.005％
安定性	+/- 0.1％
高調波成分	≤ -50dbc
rf幅	0-600mm調整可能
マッチングモード	オート
冷却モード	風邪
ノイズ	＆lt; 50db
rfインターフェース	50 Ω n型
入力電力	208-240v 50 / 60hz

1。 私達は機械を供給します バッテリー技術サポート付き。

2。 私たちは供給します フルセット リチウム電池機器 ラボ研究、パイロットスケール研究、生産林向け e。

1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

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