1200°C pe / cvd炉、rfジェネレーター、ガスミックス＆amp;ポンプシステム

tmax-1200pecvd 化学蒸着（cvd）およびプラズマ化学気相成長（pecvd）マルチゾーン分割チューブ炉は有名なカンタル^® （スウェーデン）埋め込まれたワイヤー発熱体高品質で三菱^® （日本）アルミナ繊維断熱材。すべてスチール製の二重層ハウジングが耐久性を確保し、熱損失を最小限に抑えます外面。

炉操作はによって制御されるしまでん^® （日本）40セグメントデジタルコントローラー組み込みのrs485デジタル通信ポートとusbアダプターにより、ユーザーは、炉の遠隔制御と監視のためにPCに接続します。君はテスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。

私たちのすべての炉はCEです準拠しています。

特徴

1 コンパクト、ポータブルで軽量なデザイン。

2 低い従来のcvdsと比較して、必要な処理温度。

3 映画ストレスは、高/低周波数混合技術によって制御できます。

4 スプリット高速で簡単にチューブにアクセスできる炉室。

5 標準パッケージには、バルブ付きのステンレス鋼製真空シーリングフランジのセットと圧力計。

6 マイクロプロセッサベースの自己調整pid制御により、最小限の最適な熱プロセスが提供されます。オーバーシュート。

7 複数単一サイクルの大気プロセスが可能です（例：バインダーは空気中で燃え尽きます粗真空または不活性ガス環境下での部品焼結。

8 ビルトイン簡単な監視とトラブルシューティングのためのアンプメーターとデュアル電圧計。

9 ビルトインコンピュータインターフェース。

10 長寿タイプkの熱電対。

11 スライド可能炉オプションにより、超高速冷却速度を実現

安全性

1 オーバーヒート温度が許容範囲外の場合、保護により炉がシャットダウンされます（コントローラーのマニュアルを参照）または熱電対が破損した場合、または誤動作。

2 パワー故障保護は、故障点の直後に炉の運転を再開します電源が再確立されます。

警告！炉に水素、一酸化炭素などの爆発性ガスを絶対に入れないでくださいそしてメタン。

炉、真空ポンプ、ガス混合システム仕様書

チューブ   材料

石英

暖房   素子

カンタル^® （スウェーデン）抵抗コイル線

最大   対一定の作業温度

1200°C   最大および1100°c定数

サーモ   カップルタイプ

k

耐火物   裏地

三菱^® （日本）1500グレードファイバーアルミナ

温度   コントローラ

しまでん^® （日本）4つのプログラムと40のfp93   セグメント
（つまり、4 x 10セグメントまたは2 x 20セグメント）

最大   加熱＆冷却速度

＆lt;   30°C /分

温度   コントローラー精度

+/-   1°c（+/- 1.8°f）

真空   シーリングフランジキット

ステンレス   1つの真空計を備えたスチール製真空シーリングフランジ、
2つのバルブと4つのサーマルセラミックブロック。

電気的   要件

208-240vac、   50/60 Hz、単相

RFジェネレーターの仕様

電気的   要件

208-240   ボルト50/60 Hz

出力   パワー

5   500ワットまで、+ /-1％ステップで調整可能

rf   周波数

13   +/- 0.005％の安定性を持つmhz

反射   パワー

200   最大ワット

マッチング

自動

rf   出力ポート

50   Ω、n型、メス

冷却

空気

標準パッケージ

部品の説明

量

パーツ画像

スプリットチューブ炉

1   セットする

マルチチャンネル   ガス供給システム

1セット

プラズマ   rf電源（オプション）

1セット

真空   ポンプとエンクロージャー（オプション）

1セット

石英   チューブ

1個

アナログ   流量計

1個

ステンレス   圧力計付きスチール製真空シーリングフランジ

1   セットする

ステンレス   スチールフック

1   パソコン

アルミナ   セラミックサーマルブロック

2   ペア

熱の   手袋

1   ペア

予備の   ヒューズ

2個

usb / rs485コンピューター   インターフェースキット

1   セットする

1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

2最適な方法を見つけるために、顧客の要件に応じて、速達、航空、海上で出荷します。

3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷部分を変更します。