真空 p アンプ s ら

( 〇 必須） r 耳道 v アキューム p アンプ

ロータリー p アンピング s おしっこ

50Hz : 8 m³ / h ( 2 . 2 L/s)/ 60 Hz : 9. 6 m³ /h ( 2 . 6 L/s)

真空 l 模倣する

2 パ

最大スパッタリング電流

100mA

働く p 圧力をかける

20Pa - 8 パ

掃除機をかける t 私 自分

<5 分( 2 パ）

真空 メートル 安心

大気から大気までの測定範囲 2*10 ^-2 mbar

チャンバー s 化する

Φ 15 0* 12 0mm（高さ） 傷に強い石英ガラス

マグネトロン t ターゲット s ソース

目標 サイズ φ50×0.1mm(金) / t ターゲット ソース: Au、Ag、Pt

手術 メートル 方法

取扱説明書 l

重さ/ s 化する

45 kg/ 36 長さ 0mm × 30 幅0mm バツ 38 高さ0mm

力 s 供給する

AC110V 60Hz または AC220V 50Hz

力 c 消費

&lt; 15 00W

冷却方法

水冷（オプション）

保証

ライフタイム製品サポート付きの 1 年間の限定保証