- バッテリーパイロット/生産ライン
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3温度帯スライディングpecvdチューブ炉
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pecvdチューブ炉をスライドミニ単一温度ゾーン
pecvdチューブ炉をスライドミニ単一温度ゾーン
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外径50mmの1200°Cシングルゾーン分割チューブ炉
石英管付きシングルゾーン1200°c 50mm odスプリットチューブ炉
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ターボ分子真空ステーションと完全な付属品を備えたコンパクトな4インチRTPチューブ炉システム(最大1e-4 torr&1100c)
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DVDおよびRTP用1200°Cコンパクトマグネット駆動スライディングチューブ炉
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高速加熱/冷却用のフランジを備えたコンパクトな自動スライド式管状炉(外径50mm、最大1200°c)
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4インチ内径の石英管と最大1100ºcのデジタル真空計を備えたul標準コンパクトRTP炉
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高速加熱/冷却用のスライディングフランジを備えた最大1500°Cチューブ炉(外径50mm)
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急速加熱および冷却が可能な、最大1000°Cのスライド可能なRTP(外径4インチ)チューブ炉
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真空下でスライド可能なサンプルホルダーを備えた2ゾーンIR加熱RTPチューブ炉(4 '' id)
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hpcvdの内部移動機構を備えた1200°cチューブ炉
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1200°cの最大スライド式チューブ炉(外径80mm)、高速加熱/冷却用のフランジ付き
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TcvD用50 mmチューブフランジ付き1200°C最大デュアルスライド式チューブ炉
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デュアルチューブ(100/80 mm)-cvdスライディング炉および4チャネルガスおよび真空システム
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高速加熱/冷却用のフランジを備えたスライディングチューブ炉(80m 1200°c max m od、)