- バッテリーパイロット/生産ライン
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製品
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乾燥オーブン付きナノメートル範囲のプログラム可能なディップコーター(1〜500 nm / sec、100°c max。)
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速度1-200 mm / minおよび加熱チャンバー100°c maxの5ポジションプログラマブルディップコーター。
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可変速度(1〜200 mm / min)のデスクトップディップコーター
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産業の 4 つの側面湿式塗工装置
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幅 300 mm のドクターブレードとラボ コンパクト フィルム真空コーティング マシン
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ラボ コンパクト フィルム コーター機真空チャック
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発熱冷却パッチの生産のためのカスタム ラボ ハイドロゲル コーティング マシン
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DC マグネトロン スパッタリングおよび振動ステージを備えたラボ パウダー PVD コーター マシン
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タッチスクリーンでプログラム可能(1〜200 mm / min)、最大100°cの乾燥オーブン付きディップコーター
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オプションの加熱カバー付きのプログラム可能な真空チャックスピンコーター(500〜6000 rpm、最大8 "ウェーハ)
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200 C マックス。乾燥機カバーと 140 mm ドクターブレード自動フィルム コーティング機
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100℃までの乾燥オーブンを備えたミクロン範囲のプログラム可能なディップコーター(1〜500um /秒)
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3セットの真空チャックと完全なアクセサリを備えたコンパクトスピンコーター(最大8000 rpm、最大4 "ウェーハ)
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ロール to ロール転送電池電極用乾燥炉とコーティング システム
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経済的なデスクトップスピンコーター(最大8000 rpm)、完全なアクセサリー付き
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200°Cまでの乾燥オーブンを備えたディップコーター(1〜200mm /分)
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マイクロメータ調節可能な塗工-幅 150 mm
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真空チャック付きのプログラム可能な高速スピンコーター(10k rpmおよび最大5 ")(オプションの加熱カバー)
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完全なアクセサリを備えた防食スピンコーター(最大8000 rpmおよび6 "ウェーハ)
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マイクロメータ調節可能な塗工-50 mm
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高品質刃マイクロメータ塗工幅 150 mm
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アルミ箔積層機ロール to ロール コーティング
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間欠スロット ダイ コーティング コーター マシン乾燥オーブンと Winding&Unwinding システム
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ラボ 2 ゾーン CSS 炉は、最大 3 インチ径 & 650ºC の急速熱処理用です。
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4つの加熱源(10-6 torr)を備えた超音波高真空熱蒸発コーターマシン
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Max.800°C で最大直径 5 インチのウェーハを急速熱処理するための 2 ゾーン ラボ CSS 炉